中古 TAYLOR HOBSON TalySurf 120 #9099036 を販売中
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ID: 9099036
Stylus profiler
Traverse unit
Motorized column attached to an epoxy granite base
Computer interface module
Software: Ultra K510-1036-02 (version 6)
Inductive gauge unit with interchangeable styli
Interface and control modules.
Windows-based measurement/analysis software
Traverse length 120 mm
Straightness of traverse: 1.0 micron over 120 mm range
Traverse speeds 1.0 mm / sec and 0.5 mm/sec (+/- 5%)
Column traverse 450 mm
Stylus range 6 mm range
Stylus tip radius 1.5 - 2.5 micron
Stylus force over full range 0.7 - 1.0 mN.
TAYLOR HOBSON TalySurf 120は、完全に自動化されたマスク検査およびウェーハ計測システムです。このシステムは、レジストコートされたマスクとウェーハの効率的で正確かつ再現性のある測定を提供できるデュアル4軸ヘッド構成で設計されています。効率が高く、1時間に最大40枚のマスクとウェーハを検査できます。TalySurf 120は、高解像度の5メガピクセル(MP)カメラを使用して、イメージングと検査を行います。マスクの特徴だけでなく、検査品質の高いウエハーの欠陥も測定できます。カメラは高度なオートフォーカス技術を使用して、極端な精度と速度で画像をキャプチャします。独自のアルゴリズムを使用して、パターンエッジや線幅などのサーフェスのフィーチャーを検出、分析、比較します。さらに、TAYLOR HOBSON TalySurf 120は、プロセス制御偏差を測定するために重要な線幅、ステップ高さ、粒子密度などのウェーハ上の特徴を測定する機能を備えています。サブミクロンの特徴を捉え、0。05ミクロンの精度で高精度な測定を行うことができます。また、個別の検査プロセスを可能にするユーザー定義の検査レシピをロードして実行する機能もあります。TalySurf 120には高度なレポート機能が搭載されています。各機能の詳細な説明が検査されたライブイメージディスプレイが含まれています。また、各検査に関する詳細な統計情報(グラフ、チャート、非適合領域のリストなど)も付属しています。TAYLOR HOBSON TalySurf 120のソフトウェアはMicrosoft Windows XPで設計されており、使いやすいです。基本的な操作と検査レシピを作成するためのユーザーフレンドリーなチュートリアルがあります。また、詳細な結果を含む自動レポートを生成し、PDFやHTMLなどの他のフォーマットにレポートをエクスポートすることもできます。TalySurf 120は、マスクとウェーハを検査および測定するさまざまな機能を備えた強力で効率的なシステムです。その高度なイメージング機能、高度なソフトウェア、レポート作成ツールは、迅速かつ正確なマスクまたはウェーハ検査を必要とする企業に最適なツールです。
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