中古 TAYLOR HOBSON CCI MP-HS #293654291 を販売中

TAYLOR HOBSON CCI MP-HSは、不透明で半透明なマスク、ウェーハ、レチクルコーティングの高解像度検査を提供するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このマスクおよびウェーハの点検システムは生産および開発/R&Dの適用の両方に使用することができます。これは、高度なソフトウェアと堅牢で信頼性の高いイメージング技術と統合された自動化ユニットです。このマシンは、最高の効率で高精細画像をキャプチャすることができます。CCI MP-HSは10,000：1の高いダイナミックレンジの薄膜スタックのための不透明なマスクおよび40nmのための5µmの点検分解能を提供します。このツールは、キャプチャするエビデンスに従って調整できるプログラム可能なフォーカスを提供します。また、最大1,000ウェハ/時間の高速検査を提供し、標準的な表面および3D物理欠陥検査、ならびにパラメトリックおよびマッピング解析を実行できます。TAYLOR HOBSON CCI MP-HSは、Si、 SiGeおよびIII-V材料だけでなく、酸化物、窒化物、ポリマー、およびCu金属化層など、いくつかの異なるタイプの材料と互換性があります。さらに、この資産はマイクロデフェクトと透明性の問題を検出することができ、歩留まりの向上、製品のパフォーマンスの最適化、コストの削減に役立ちます。CCI MP-HSは、特許取得済みの積層照明技術により、薄膜の薄膜から多角構造のウェハまで、複雑なサンプルの高品質な表面検査を可能にします。さらに、モデルの照明レンズは、ユーザーがサンプルの特定の要件に応じて照明を調整することができ、高解像度、コントラスト、焦点深度を提供します。ポータブル設計に加えて、OTF AutofocusやEdge Traceなどのさまざまなソフトウェアパッケージと統合されているため、サンプルアライメントを自動化して手動で行うことができ、高い精度を維持しながら人間の介入を減らすことができます。このソフトウェアはまた、さまざまなサンプル条件や材料で高品質の検査結果を提供するために、低偽警報率と強力なソフトウェア分析機能を提供します。全体として、TAYLOR HOBSON CCI MP-HSは、高解像度のイメージングおよび強力なソフトウェア解析ツールを提供し、マスクおよびウェハ検査の品質と精度を保証します。このシステムは統合された生産ラインのための理想的な解決であり、自動化された、有効で、費用効果が大きいマスクおよびウェーハの点検を提供します。