中古 SVG / PERKIN ELMER / BSL OS 2000 #9162533 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/BSL OS 2000は、産業用に設計されたマスク&ウエハ検査装置です。このシステムは、機能やマスク欠陥の識別、品質管理、生産監視など、さまざまな光学測定を行います。このユニットは顕微鏡やデジタルカメラ、コンピュータインターフェース、スペクトル変換ステージ、光源など、いくつかのコンポーネントで構成されています。マシンの顕微鏡は、ウェーハまたはマスクの高解像度、高コントラスト画像を提供するように設計されています。これは、ウェーハやマスクの画像をキャプチャし、コンピュータに保存するために使用されるデジタルカメラが装備されています。顕微鏡では、小さな欠陥や特徴を正確に検出できます。スペクトル変換ステージは、ウェーハまたはマスク全体を検査できるようにムーブメントを提供します。これにより、広い領域のより正確な検査と異なる画像のより良い比較を可能にします。光源は分析中にウェーハやマスクを照らし、高コントラスト画像を得ることができます。コンピュータインターフェイスにより、解析前にデータをSVG OS 2000にインポートできます。これにより、画像の比較と自動欠陥検出と分類が可能になります。このソフトウェアには、複数の画像を比較するためのヒストグラム、自動欠陥検出アルゴリズム、および分析のためのさまざまなツールなど、プロセスに役立つさまざまなツールが搭載されています。このソフトウェアにより、精度と速度が保証されます。最後に、ツールは、追加の機能のために、他のさまざまなSVG機器に接続することができます。これらには、FIB（焦点イオンビーム顕微鏡）、CVD/PVDシステム（化学蒸着および物理蒸着システム）、およびクリーニングツールが含まれます。これらはすべて、均一な表面を確保し、ウェーハまたはマスクに存在する可能性のある欠陥を検出するために使用できます。BSL OS 2000は、高解像度マスクおよびウェーハ検査を行うための包括的な資産です。それは非常に使いやすく、多くの異なった産業および研究の条件に適するために合わせることができます。強力な顕微鏡、光源、スペクトル変換ステージ、デジタルカメラ、ソフトウェアにより、多数の欠陥や特徴を迅速かつ正確に検出することができます。