中古 SONY IRG-12 #293665056 を販売中

SONY IRG-12は、集積回路を製造するためのマスク・ウエハ検査装置です。集積回路の製造に使用される高解像度パターンマスクやウエハーの自動、正確、詳細な検査を提供するように設計されています。このシステムは、高倍率スキャン電子顕微鏡（SEM）、光学欠陥検査（ODI）、自動欠陥分類（ADC）、サブミクロン分解能イメージングなどの多くの先端技術を組み合わせています。IRG-12ユニットは、高倍率の電子光学スキャンレンズを備えた走査型電子顕微鏡（SEM）を使用し、最大1,000x倍率のマスクやウェーハの画像を取得します。この装置は、二次電子イメージング（SEI）、二次電子放出顕微鏡（SEME）、 X線イメージング、スキャニングトンネリング顕微鏡（STM）などの幅広いイメージングモードを使用して、解像度を高め、表面欠陥を検出します。SONY IRG-12ツールには、SEMイメージングに加えて、マスクやウェハの欠陥箇所や寸法を検出するための光学欠陥検査（ODI）も含まれています。アセットには、高度なアルゴリズムと自動画像処理技術を使用して、微細なパターンの欠陥を検出し、サブミクロンレベルまで欠陥の精密形状と角度を検出します。検査の精度と速度をさらに向上させるために、欠陥IRG-12識別および分類するための自動欠陥分類（ADC）が含まれています。ディープラーニングベースの欠陥分類器を使用して、装置はさまざまな物理的欠陥タイプと区別し、パーティション検査の詳細なメトリック結果を提供することができます。SONY IRG-12システムには、マスクやウェーハの高解像度検証用のサブミクロン分解能イメージングも含まれています。高解像度の電子検出器により、微細な表面構造を高度なディテールで撮影することができます。また、大面積の微妙なパターンを正確に識別するための精密画像処理およびパターンマッチングツールも提供しています。一貫した、正確な点検結果を保障するためには、IRG-12機械は高度の品質管理用具が装備されています。このツールは自動的に温度監視を行い、安定したイメージング条件を保証し、メンテナンスフリー動作のための定期的な予防メンテナンス作業を提供します。結論として、SONY IRG-12は、集積回路の製造に最適な高度な検査資産です。その高度な機能と自動化されたシステムは、超高解像度でマスクやウェーハに信頼性と正確な結果を提供します。