中古 SMS TSM 3000W-RCZ #293654288 を販売中
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SMS TSM 3000W-RCZマスクおよびウェーハ検査装置は、半導体業界で使用されるマスクおよびウェーハの品質と完全性を検査するために使用される自動システムです。この信頼性の高い高性能ユニットは、最小かつ最も複雑なパターンの迅速かつ正確な検査を提供するように設計されています。レーザーオートフォーカスアライメントツールと独自のウェットスキャナー検出アセットを搭載しており、サブミクロン分解能イメージングに光散乱理論と散乱理論を使用しています。このモデルは、Euro eBeam光学顕微鏡と、新しく設計された広域カバレッジ用のワイドフィールドCMOSベースのイメージング装置を備えています。これらの高解像度イメージングシステムは、計測、自動欠陥検査、および自動印刷検査に使用されるデータを提供します。このシステムはまた、一般的な実験室使用のためのさまざまなツールを提供します。このユニットはまた、チップ試験および歩留まり解析に関連するさまざまな機能を提供します。これらの特徴の中には、温度プロファイリングと圧力マッピングによる粒子制御、粒子サイジング、粒子特性評価などがあります。さらに、3D測定によるインライン欠陥検出、フラットフィールド検出、クロスビア検査も可能です。このツールは、ミクロンレベルの重大な欠陥を検出することもできます。このアセットには、検査プロセスを自動化するための機能とソフトウェアが含まれています。これらには、バッチ処理、パターン認識、および「smart-remove」アルゴリズムが含まれます。さらに、このモデルはまた、欠陥検出および解析の精度を向上させることができる幅広い分析言語をサポートしています。TSM 3000W-RCZマスクおよびウェーハ検査装置は、高スループット、信頼性、および費用対効果のために設計されています。これは、マスクやウェーハの品質の欠陥検出とメンテナンスのための堅牢なソリューションです。幅広い臨界寸法の効率的な検査と分析のためのツールを提供し、半導体業界にとって理想的な選択肢となります。
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