中古 SII NANOTECHNOLOGY / SEIKO XVision 200TB #9240326 を販売中
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販売された
ID: 9240326
Defect inspection system
Triple beam
FIB:
Resolution: 4 nm at 30 kV
Acceleration voltage: 0.5 ~ 30 kV
Maximum probe current: 90 nA
Maximum probe current density: 45A/cm²
Argon:
Resolution: 3 nm at 5 kV
Acceleration voltage: 1 ~ 30 kV
SEM:
Acceleration voltage: 0.5 ~ 1 kV
Maximum beam current: 10 nA
EDS Specification:
AZTec Energy Standard micro-analysis system
With X-MaxN 80 large area analytical silicon drift detector
Hardware includes:
X-MaxN 80 SDD Detector with PentaFET precision
Active area: 80 mm²
Resolution guaranteed on Mn K - 127eV at 50,000 cps
SATW Windows for detection of elements from beryllium
MicsF+ Microscope image capture system
X-Stream 2 Micro-analytical pulse processor
PC
Operating system: Windows 7
Widescreen LCD display, 23"
Aperture: 1
Accelerating voltage: 3 kV
Beam current: ~210 pA
(3) Separate beams:
High resolution FE-SEM imaging
Precision FIB milling
Ultra high resolution TEM imaging:
Low energy Ar polishing to minimize sample damage
FIB-SEM-Ar beams:
Coincident eliminating need for sample movement between beams
FE-SEM Monitoring.
SEIKO X Vision 200TBマスクおよびウェーハ検査装置は、高解像度、高スループット、高精度の最先端技術です。このシステムは、高度なマイクロエレクトロニクス、医療、フラットパネルディスプレイのアプリケーションに最適です。SII NANOTECHNOLOGY X Vision 200TBユニットは、4,000ピクセル解像度のCCDカメラと高出力照明機を内蔵しています。これにより、あらゆる欠陥やその他の特性を高品質のイメージングであらゆる作業方向に高精細な画像キャプチャが可能になります。また、SII NANOTECHNOLOGY/SEIKO独自のオートフォーカス技術により、正確で高精細な画像を迅速かつ効率的に提供します。これにより、現場での検査や拒否を行うことで、コストを削減し、マスクやウェーハの品質を向上させることができます。検査アセットには、人間工学に基づいたデザインと直感的なユーザーインターフェイスも備えています。これにより、効率的で便利なワークフローが可能になります。このモデルは、マスクやウェーハの欠陥を自動的に検出して補正する強力な画像処理装置を備えています。さらに、検出とグループ化を容易にするための幅広い欠陥タイプを含む高度な欠陥ライブラリを備えています。SEIKO X Vision 200TBマスクとウェーハ検査システムは、使いやすいソフトウェアと使いやすいコマンドで最大限の効率を目指して設計されています。このユニットは、高性能とデータ分析、レポート、アーカイブのための強力なツールの配列を提供しています。その高度な欠陥分類機能により、データマイニングや欠陥の分類に最適です。このマシンには、パターンの可視性を向上させるためのカスタマイズ可能な画像強化ツールが選択されています。また、調査結果を記録するためのハードコピーレポートとデジタルアーカイブ機能も備えています。さらに、SII NANOTECHNOLOGY X Vision 200TBのカスタマイズ可能なデータ分析機能により、データを迅速かつ正確に分析およびアーカイブできます。全体として、SII NANOTECHNOLOGY/SEIKO X Vision 200TBマスクおよびウェハ検査ツールは、信頼性の高い品質保証と回路パターンの検査のための卓越した品質と精度を提供します。この資産は、高度な半導体および医療機器製造プロセスの厳しい公差を満たすための費用対効果の高いソリューションを提供します。高解像度、スループット、精度を備えたこのモデルは、複雑なマスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適です。
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