中古 SEMILAB WT-2000 #9299523 を販売中

SEMILAB WT-2000は、平らな表面の地形の自動、非接触、高分解能測定を行うように設計された高精度のマスクおよびウェーハ検査装置です。音響イメージング振動計測技術（AIV）をベースに、音響パルスに対する物体の振動や応答を測定します。このシステムは、0。5nm以下の解像度で寸法を測定することができ、全面非接触測定を高速で実現することができます。SEMILAB WT2000ユニットには、音響イメージング振動計（AIV）測定ヘッドと高解像度イメージングマシンの2つの主要コンポーネントが含まれています。AIV測定ヘッドは、音響パルスの生成、反射信号の受信、デジタル信号への処理を担当します。このツールは、2µmまでの測定範囲で軸分解能が0。5nmよりも優れている高分解能の地形データを取得することができます。AIV測定ヘッドの時間分解能は、125〜500nsの範囲で設定されています。このイメージング資産は、522 nmの可視レーザーで構成され、AIV測定ヘッドから発光する光ファイバカップリングによって供給されます。このレーザー照明画像は、高解像度のデジタルイメージングモデルによって拡大され、デジタルカメラによって収集されます。高解像度イメージング装置は、3。45 μ mのピクセルサイズのCCDカメラに基づいており、最大250倍の拡大画像を提供します。WT 2000制御システムは、AIV測定ヘッドの開口部を制御し、測定領域の最適化、イメージングユニット用レーザビームトリガーの同期などを担当しています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、効率的で信頼性の高い操作のための機械機能への容易なアクセスを提供し、自動マスクアライメント手順、ユーザーフレンドリーなナビゲーションメニュー、さらには測定パラメータを格納するためのソフトウェア機能など、いくつかの標準機能が含まれています。基本的なツールに加えて、SEMILAB WT 2000は、ウェーハおよびマスク検査用のアクセサリーの配列を提供しています。これらのアクセサリーには、表面粗さおよび地形プロファイリング用の特殊スキャニングクォーツプローブ、ウェットテンション解析用のサンプル充電用の充電モジュール、小さな物体の可視化のための顕微鏡カメラ、小さな構造を見るための光学顕微鏡、電気伝導性を測定するための渦電流センサーが含まれます。結論として、WT2000は、優れた再現性と精度を提供する強力で高精度のマスクとウェーハ検査アセットです。音響イメージング振動計と高解像度イメージングモデルを組み合わせたハイブリッドアプローチにより、高解像度および高速で平面の地形、寸法、粗さ、および電気特性を迅速かつ簡単に測定できます。