中古 SEMILAB SPVCMS4000 #9391959 を販売中

SEMILAB SPVCMS4000は、最も要求の厳しいプロセスと検査要件のために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。表面と地形の検査、特徴認識、欠陥解析など、独自の技術の組み合わせを提供しています。SPVCMS4000は直感的で高性能なソフトウェアによって駆動され、ユーザーはFEOL、 BEOL、 DRAM、 3Dなどのさまざまなプロセスで信頼性の高い検査を迅速かつ正確に実行することができます。このシステムは、表面および地形検査モードで20nm以下の分解能を提供することができ、サンプルの特徴を検査する際に優れた精度を提供する超高感度の光反射CCDセンサーを備えています。さらに、優れた信号対ノイズ比で小型の欠陥を検出することができます。サンプルウェーハ上のフィーチャーの位置を監視する高度なトラッキングアルゴリズムにより、周囲ノイズの存在下でもフィーチャー認識が可能になり、より迅速かつ正確な検査が可能になります。SEMILAB SPVCMS4000は、10。4インチカラータッチスクリーンディスプレイを搭載しており、ユーザーはマシンの設定を完全に制御できます。デュアルアーム動作によりスループットを最適化するように設計されており、デテンション使用を最小限に抑え、オペレータは複数のウェーハを順番にすばやく検査することができます。このツールはまた、ウェーハの自動ロード資産を備えており、ウェーハを迅速かつ簡単にロードおよびアンロードすることができます。また、最大4K解像度の効率で欠陥をキャプチャできる高解像度カメラSPVCMS4000搭載しています。この機能により、ユーザーは比類のない精度で複雑なパターンや構造を検査することができます。さらに、このモデルには、欠陥を検出、検出、および正確に識別できる強力な画像処理および分析技術が含まれています。また、欠陥サイズ、粒子密度、金型サイズ、その他の重要な情報を含むデータに対するリアルタイムのフィードバックも提供します。この包括的な機能セットにより、SEMILAB SPVCMS4000は最も要求の厳しいマスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適です。