中古 SEMILAB / SDI WT-2000D #9250076 を販売中

SEMILAB/SDI WT-2000Dは、半導体生産における産業用に設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高解像度のテレセントリック光学システムを利用することで、最大300mmの直径でウェーハの欠陥を検出することができます。このユニットには、アライナー、画像キャプチャデバイス、およびロボット処理モジュールが含まれています。このマシンは、エアベースのアライナーを使用して、イメージングツールとの正確なウェーハアライメントを保証します。迅速かつ正確な画像キャプチャを実現するために、このアセットは、低ノイズ読み出しと1GB/sのデータレートを備えた冷却CCDカメラを使用しています。このカメラは、2048 x 2048の解像度で静止画とビデオストリームの両方をキャプチャすることができます。ロボットハンドリングモジュールは、精密かつ再現性のある動作を提供しながら、すべてのウェーハとマスクサイズを処理することができます。また、正確なウェーハ翻訳とシーケンス操作も提供します。また、ロボットアームが検査情報に基づいてウェーハを直接操作できるように、制御モデルをビジョン装置と統合しています。また、高速ステッチアルゴリズムを使用してウェーハとマスクの両方を検査し、IC設計などのウェーハ上のパターンや、リソグラフィー誤差などのマスク上のスポットを検出することも可能です。また、コントラストを改善し、ノイズを低減するためにスペックル低減技術を使用しています。このユニットはまた、SDI特許取得済みのダイ：プローブツールを使用して、ウェーハ上の各ダイのX、 Y、回転角度を正確に識別して記録します。SDI WT-2000Dは、精度と生産性を向上させるための包括的な計測および分析ツールを提供します。また、偽色、色分けされたホットスポット、グレースケール表示など、さまざまな欠陥ディスプレイを提供しています。これらの表示は、簡単な識別と修復のためのエラーや欠陥のある領域を強調表示します。このマシンには、最先端のアルゴリズムとソフトウェアが搭載されており、問題をすばやく見つけて検査時間を改善できます。また、高度なレビュー機能と正確な再現性解析を提供する統計レビューも備えています。さらに、機械は正確な結果を保障するためにSEMILABによって調整されます。全体として、SEMILAB WT-2000Dは、半導体業界の特定のニーズに合わせて設計された強力で信頼性の高いツールです。ウェーハやマスクを確実に検査し、欠陥を迅速に特定できるため、生産に最適です。