中古 SEMILAB / SDI WT-2000D #293692003 を販売中
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SEMILAB/SDI WT-2000Dマスク&ウエハ検査装置は、現代の半導体産業で使用されるさまざまな種類のマスクおよびウエハを検査するための包括的で自動的なソリューションを提供します。ウエハ検査と高解像度マスク検査の両方に対応する完全自動化システムを備えています。その高度な光学系と高解像度イメージングは、サブミクロン精度で欠陥を検出する能力を与えます。加速された老化パターン、汚染物質、エッジ排除ゾーン、および材料の非均一性を容易に検出できます。また、ウエハ検査の自動化も実現しています。高解像度CCDイメージングと超高解像度フレーミング検出器を組み合わせて、ウェハの表面形状、形状、位置の変化を検出できます。内蔵の3Dアダプティブ・オートフォーカス技術により、正確で正確な欠陥検出が可能です。SDI WT-2000Dには、完全に自動化されたマスク検査機能も含まれています。高度な光学技術と高解像度イメージングにより、マスクマスクブランクと露出したクリティカルマスクデータをキャプチャおよび検査できます。これは、ショートパンツ、欠陥、不整列、およびサブミクロンレベルまでの不規則性を検出することができます。これにより、ロットとウェーハ間の精度と再現性が保証され、最高品質の検査が可能になります。さらに、SEMILAB WT-2000Dは、欠陥補正と修復のための独自の自動欠陥補正(ADC)プロセスを備えています。この機能を使用すると、手動の検査方法で気づかなかった可能性のある欠陥を自動的に見つけて修復できます。全体的WT-2000D、汎用性と強力なマスクとウェーハ検査機です。自動化された包括的かつ高解像度のマスクおよびウェーハ検査機能を備えているため、現在の半導体業界のますます増大する需要に対応できます。
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