中古 SEMILAB / SDI WT-2000 #9259516 を販売中

SEMILAB/SDI WT-2000は、リソグラフィおよび計測用途向けの検査機能を提供することを目的に構築されたマスクおよびウェハ検査装置です。ウェーハやマスクの検査、サンプリング、測定を高精度かつ再現性のあるものに設計されています。このシステムは、デュアルヘッド光学ユニット、独自の制御マシン、および高度な独自の画像解析ソフトウェアを備えています。マスクとウェーハ検査ツールには、1k x 1k CCDカメラと、ウェーハとマスク表面の均一な照明を保証するデュアルヘッド照明制御が装備されています。このアセットは、高い精度で1つのパスでウェーハ全体を検査することができます。さらに、このモデルはパルス照明状態で動作し、表面形状の小さな違いを補償し、ウェハ全体に一貫した結果をもたらします。高度な画像解析ソフトウェアは、ウェーハ構造の変化を検出しながら、重要な寸法や露出エラーなどの欠陥を検出することができます。完全なウエハ解析と絶縁されたクリティカルエリア解析を組み合わせ、欠陥の徹底的な検査を実現します。さらに、ハイエンドの自動欠陥検出装置により、識別が困難な微妙な孤立したウェーハ欠陥を検出することができます。独自の制御ユニットにより、オペレータはカメラ、照明、ステージ位置、および光学機器を単一の統一されたハードウェアで制御することができます。また、外部の統計プロセス制御およびデータ収集システムとの統合も可能であり、ウェーハおよびマスクデータの迅速な分析を可能にします。さらに、このツールはウェーハトラッカーと統合することができ、ウェーハが機械を通過する際にウェーハを正確に追跡することができます。要するに、SDI WT-2000は完全で高精度のマスクとウェーハ検査アセットです。精度と再現性を備えたウェーハやマスクの検査、サンプリング、測定を目的に設計されており、高度な画像解析ソフトウェアと独自の制御モデルにより、外部の統計プロセス制御およびデータ収集システムとシームレスに統合されています。さらに、この装置はパルス照明状態で動作し、表面の地形の小さな違いを補い、ウェーハ全体で一貫した再現性のある結果を保証します。