中古 SEMILAB / SDI RT-100 #9259517 を販売中

SEMILAB/SDI RT-100は、SDIの半導体検査製品ラインに搭載されているマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、ウェーハやマスクの表面検査を迅速かつ正確に行うように設計されています。SDI RT-100は、安定した高速データ収集ユニットに接続された強力なCCDカメラと、最大16ビットのダイナミックレンジを備えたカラー画像処理機を備えています。そのCCDイメージング技術は、ウェーハおよびマスク表面の基材に組み込まれた欠陥を正確に検出および検査することができます。CCD内の各セルは密集しており、高速な画像取得、転送、処理が可能です。統合ソフトウェアを使用して、2つの異なるタイプの検査が利用可能です：ブライトフィールドとダークフィールド。ブライトフィールド検査は、粒子、傷、マイクロクラックなどの表面欠陥を検出するために使用され、ダークフィールド検査はマスクに通常使用されるエッジおよびライン検査に使用されます。統合されたソフトウェアは、ユーザーがアプリケーションのニーズに合わせて、検査サイズや精度などの特定の検査パラメータをプログラムしてカスタマイズすることができます。SEMILAB RT-100は、ウェーハの自動取り扱いに加え、信頼性と迅速なウェーハ登録を保証する高速ウェーハ交換機構を備えています。前部ローディングのカセットローダーはオペレータ介入なしでウェーハ交換および後検査を可能にします。直感的なソフトウェアコントロールインターフェイスは、ツールが使いやすく、最小限のトレーニングが必要であることを意味します。ウェーハやマスクの検査に加えて、フィルムストレスやテスターのバーンイン、SEM画像のステッチ、3次元地形解析、最大10 RT-100までの機能の寸法測定など、さまざまな検査作業にも対応µmます。全体的に、SEMILAB/SDI RT-100は、信頼性が高く正確なマスクおよびウエハ検査資産であり、操作が容易であり、優れた結果で幅広い検査タスクに対応できます。これは、最高の精度と迅速なターンアラウンドを提供し、自動半導体生産のための理想的なソリューションです。