中古 SEMILAB / SDI RT-100 #9202582 を販売中

SEMILAB/SDI RT 100は、高いスループット、自動化された生産ラインアプリケーション向けに設計された堅牢なマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウェーハの欠陥や形状情報を正確かつ高解像度で画像化します。SDI RT 100は、SDI独自の走査電子ビーム検出（SEBD）技術を使用して欠陥や粒子を検出します。これにより、DRAM、 SRAM、 CMOS、 Bi-CMOS、 SOI、 Gallium Arsenide （GaAs）技術など、さまざまな半導体デバイスを検査することができます。このシステムは、マスクとウェーハの欠陥を検出および分析するための二軸x-yステージと、形状と特徴を詳細に分析するためのセグメント化されたウェーハステージを利用しています。高い再現性により、データ取得時の再現性を確保し、小さな欠陥を確実に検出することができます。SEMILAB RT 100は、デバイスの内部構造を正確に測定するための高速X線ソースを備えており、欠陥の検出、回路の完全性の測定、製造プロセスの品質保証を提供します。また、SEMILAB独自のマルチステッチアルゴリズムにより、複数の画像を自動的にステッチし、最大の解像度と精度を実現しています。その追跡と相関アルゴリズムは、ある画像から別の画像への特徴を検出して追跡し、欠陥をより詳細に表示することができます。さらに、RT100の高度なデータ収集技術により、欠陥、形状プロファイル、およびその他の機能の迅速な特定と抽出が可能になります。その自動欠陥分類アルゴリズムは、そのタイプに応じてウェーハ欠陥の自動ソートを含む欠陥の迅速な評価を提供します。要するに、SEMILAB/SDI RT 100は、マスクやウェーハの高解像度画像をお客様に提供するために設計された汎用性と信頼性の高い画像処理機です。ハイスループット検査と自動データ解析のための強力な技術を備えています。高度な検出機能により、ユーザーは生産プロセス中に最高品質の製品を保証できます。