中古 SEMILAB / SDI PV-2000A #9389454 を販売中

SEMILAB/SDI PV-2000Aは、重要なフォトリソグラフィ検査の高度な要件を満たすように設計されたコンピューター制御の自動マスクおよびウェーハ検査装置です。SDI PV-2000Aプラットフォームは、光学検査と電気検査の両方を実行します。1時間あたり最大2000個のウェーハやマスクを同時に検査・テストできるハイスループットシステムです。このマシンは、接触穴、線幅、オーバーレイ精度、エッチプロファイル欠陥などのフォトマスクおよびウェハ機能の詳細な検査を提供します。SEMILAB PV-2000Aには、6 「x6」高解像度レーザー投影ユニット、高精度ビジョンマシン、高度な画像処理アルゴリズムが搭載されています。このツールは、干渉フリンジの光場強度プロファイルに基づいて、レーザー干渉ウェーハ検査用のCEMI （Contrast Estimation Mode Interferometry）を実行します。このアセットは、反集合光源（2つのレーザービームからの散乱光）からの光と放射波を組み合わせて干渉パターンを作り、パターンをプリセットパラメータと比較します。欠陥が発見されると、内蔵ピクセルセンサーで測定した測定精度がサブミクロンの評価を可能にします。PV-2000Aの高度な光学スポット検出手順は、表面欠陥の最小でも検出することができます。また、自動パターン認識とスマート検索アルゴリズムを搭載しており、欠陥の迅速な検索、検出、特性評価が可能です。また、オートフォーカスモジュールを搭載し、最大1ミクロンの精度でも確実な接触穴の検出が可能です。また、電気試験システムを統合しており、抵抗、静電容量、破壊電圧などのさまざまな試験を実施しています。自動化された電気テストユニットは、プレスダウン接触プローブと専用テストハーネスを使用して、非常に高速で高精度なテストを実行します。SEMILAB/SDI PV-2000Aは、検査プロセスを簡素化し、手動による介入を最小限に抑えてスループットを大幅に向上させる完全自動化マシンです。スタンドアロンツールは、レジストスピナー、プラズマエッチャー、射出成形など、多くの種類のウェハ製造装置と完全に互換性があります。