中古 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9382881 を販売中
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SEMILAB/SDI FAaSt 350は、半導体製造の生産ライン向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。この自動化システムは、高度な3Dスキャンとアライメント機能を備えた共焦点超広域検査フィールドを備えたクラス最高の検査機能を提供します。このユニットは、15mmから400mmまでのあらゆるサイズのウェーハを1µm解像度で検査することができます。これにより、イメージングプロセスの詳細と精度を高めることができます。SDI FAaSt 350には、インテリジェントで高速で正確なオートフォーカス、および0。1 μ mの小さい特徴を識別および測定できる高精度XYZスキャナが装備されています。これは、欠陥を含む検査中のウェーハの高度な詳細をキャプチャするのに役立ちます。このマシンには、欠陥を検出し、リアルタイムで分析できる欠陥マップを生成するための特別なオンボードハードウェアがあり、ウェーハ生産ラインのトレーサビリティと欠陥制御のレベルを高めることができます。このツールは、欠陥検出、分析、分類に役立つソフトウェアソリューションも提供しています。SEMILAB FAaSt 350 Asset Software Suiteには、さまざまなイメージングおよびオーバーレイツールが含まれており、欠陥検出、分析、欠陥分類のための多くの専門的な機能があります。このソフトウェアスイートは、コントラストの強化、平均化、シャープ化、デフォーカシングなど、さまざまな視覚的機能をサポートしています。また、欠陥タイプに加え、粒度や個数などの情報を提供することで、ウエハーやマスクの生産ラインの詳細な分析を行うことができます。FAaSt 350は、クローズドループスキャンモデルと高品質の冷却装置コンポーネントのおかげで、耐久性と長寿命のために設計されています。-10°Cから50°Cまでの温度範囲で動作するため、さまざまな使用シナリオや環境に適しています。コンパクトなサイズのため、狭いスペースでの梱包にも最適です。SEMILAB/SDI FAaSt 350は、自動化されたマスクおよびウェハ検査ユニットであるため、クリーンルーム、ラボ、製造施設などの多くの産業用途に適しています。機械は多くの一流の会社によって信頼され、高速および正確さの欠陥を検出し、識別するのに世界中の複数の企業で使用されます。自動化された機能セット、優れたイメージング機能、長寿命により、SDI FAaSt 350は今日利用可能な最高のマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。
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