中古 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9245382 を販売中
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販売された
ID: 9245382
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Wafer characterization system, 12"
Process: Contamination measurement
With power transformer / line conditioner
Stand alone
Dual FOUP robotic wafer load system platform, 12"
Platform: Robot / Pre-aligner
(2) BROOKS Vision loadports
Mini-environment
SEMI E87 Communication capability
2013 vintage.
SEMILAB/SDI FAaSt 350は、幅広い用途で使用できる信頼性と費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムには、ウェーハ処理用のダイナミックチャック、ミスアライメントエラーを補正するための6度の自由度の高度な光学設計、およびサンプルの画像をキャプチャする高解像度カメラが装備されています。このユニットは、重要寸法、エッジ、登録マーク、CD、デューティサイクル、および詳細な機能検査を正確に測定できます。また、ウェーハの正確なアライメントと広い視野を提供し、正確な面積測定を可能にし、重要なパターン欠陥の高精度分析を可能にします。このユニットの革新的な光学設計は、回折限界視野を持つ非球面レンズマシンで構成され、最適な性能を提供します。また、独自の設計により、サンプルの幅をより迅速にマッピングでき、スループットと精度が向上します。統合されたフィリップスのソース照明は、視野全体にわたって均一な照明を保証します。さらに、スキャンと露出のための独立した速度調整機構を備え、より柔軟性を提供します。また、SDI FAaSt 350には高精度で再現性の高い画像処理ソフトウェアが搭載されています。このソフトウェアの正確なアルゴリズムにより、CD、ピッチ、デューティサイクル、ノード長、線幅、登録マークの配置など、包括的な測定が可能になります。また、内蔵のユーザーフレンドリーなインターフェースにより、機械をシンプルかつ直感的に操作できます。このツールは、特許取得済みのマスクレスフィルムピーリング資産、センサーによる特許取得済みのキャプチャ技術、および全視野にわたる詳細かつ構造化された分析を可能にする特許取得済みの光学再構成アルゴリズムなど、いくつかの優れた機能を備えています。さらに、モジュール設計により、ユーザーはコンポーネントを交換またはアップグレードすることができ、ユーザーは個々のニーズに合わせてモデルをカスタマイズすることができます。SEMILAB FAaSt 350は、堅牢な光学系と高度な画像処理アルゴリズムを組み合わせ、正確な測定を提供する、驚くべきマスクおよびウェーハ検査装置です。最適なパフォーマンスと高速スループットを提供し、あらゆるアプリケーションに最適です。
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