中古 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9236853 を販売中

SEMILAB/SDI FAaSt 350は、高度な顕微鏡および光学イメージング技術を使用してIC製造の欠陥や変動を検出する自動マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、サブミクロンまでの解像度で、リソグラフィーマスク、ウェーハ、レチクルを検査することができます。研磨マスクやウェーハなど幅広い用途に適しており、パターンマッチングや寸法特性の高精度な測定・解析が可能です。このユニットは、コンピュータ制御ユニットとデジタルイメージングマシンで構成されており、直径350mmまでの試験片に対応できる可動ステージを備えています。このイメージングツールには、緑色レーザー干渉計や赤緑青色レーザーイメージングなどの高度な光学技術が含まれています。マスクやウェーハ材料の非侵襲検査、正確な3D表面解析が可能です。また、共焦点顕微鏡を搭載しており、微小およびナノスケールの機能の自動検出と測定が可能です。また、SDI FAaSt 350には、高精度パターン測定用の光干渉計が搭載されており、約40nmの幅や高さの変動を10nmまで分解能で検出することができます。また、他の寸法特性を高精度かつ高速に測定することができます。SEMILAB FAaSt 350は、SDI SP3D検査ソフトウェアと統合されており、迅速かつ効率的な欠陥特性評価を可能にします。この装置は、複数のパターンマッチングアルゴリズムとさまざまな光学顕微鏡分析プロトコルとも互換性があり、プロセスの効率的な自動化を可能にします。さらに、このシステムは欠陥修復およびマスク作成プロセスに使用でき、CAD、 SEM、 PLMツールと統合できる安全で高効率でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。結論として、FAaSt 350は、高度な光学イメージング技術を使用して微細な欠陥や変動を検出できる高度で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ユニットです。マスクとウェハの両方の検査に適しており、さまざまな計測および検査プロセスに汎用的に使用できます。SP3D検査ソフトウェアと高精度パターン測定機能により、このツールはマスクとウェーハのスキャン、検査、分析に最適なソリューションです。