中古 SEMILAB / SDI FAAST 330A #9382822 を販売中

SEMILAB/SDI FAAST 330Aは、自動化されたウェーハ検査とその後の測定用に設計された最先端のマスク&ウェーハ検査装置です。高度で自動化されたソフトウェアは、さまざまな形状のウェーハやマスクの問題領域をナノメートルの解像度で特定し、特定するのに役立ちます。このシステムには2つの垂直CCDカメラが装備されており、比類のない画像コントラストと画像キャプチャ解像度を提供します。これらのカメラは、さまざまな種類の構造を検査するためのさまざまなスケール（3- 5µm/pixel）で画像をキャプチャするためにも設定されています。これにより、オペレータは小さな構造物の検査から大きな構造物に簡単に切り替えることができます。このユニットには、2つの垂直測定センサーも含まれています。センサーは2つの分解能レベル（それぞれ0.4µmと1.2µmまで）で利用できます。検査対象の構造物の垂直形状を正確に測定するために使用されます。また、構造物の傾き測定も可能で、解像度は0。1°です。SDI FAAST 330Aの精密な光学アライメントにより、ウェーハオーバーレイのアライメントを簡単かつ迅速に、同時にキャプチャと測定を行うことができます。自動ウェーハアライメントツールは、キャプチャされたすべての画像がウェーハと正確に整列されていることを確認します。さらに、このマシンには、データ管理およびプロセス制御（DMPC）ソフトウェアも含まれています。この最先端のソフトウェアは、オペレータが単一の制御点からツールプロセス全体を制御できるようにすることで、検査と編集プロセスを簡素化します。最後に、SEMILAB FAAST 330Aには、モデルの精度を検証し、潜在的な問題に対するフィードバックを提供するオートキャリブレーションアセットが内蔵されています。フィードバックは、最適な精度を維持するために調整する必要があるすべてのパラメータを備えた包括的なレポートを作成するために使用されます。FAAST 330Aは、信頼性の高い包括的なマスク&ウェーハ検査装置です。自動化された精密な機能により、複数の形状および材料におけるプロフェッショナルマスクおよびウェーハ検査に最適です。