中古 SEMILAB / SDI FAaSt 230 DP+SPV #293811109 を販売中

SDI FAaSt 230 DP+SPVは、製造プロセス中にマスク、ウェーハ、およびその他の光学デバイス部品を検査するために使用されるマスクおよびウェーハ検査装置です。自動検査段階と多種多様なワークや各種検査に対応できるオートメーションユニットを備えています。このマシンには、23インチのTFT-LCDデュアルビューディスプレイと標準のプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が組み込まれており、ツールのワークフローを最適化できます。検査ステージはSEMILAB独自のダイナミックウェハセンターによって駆動され、正確な位置決めとステージモーションが可能です。また、統合ビデオセンサーを使用して、正確な画像解析とウェーハおよびマスクの識別を可能にします。精密マスクアライメント用の自動Zeissアダプタ、NA 0。19の検査対物レンズとフィルター、高速スキャンデジタルエレクトロニクスを搭載しています。最大20Wの光を出力できる強力な光源を搭載し、20nmまでの機能を効果的に検査します。また、視覚的欠陥のレビュー、画像セグメンテーション、画像処理を可能にするソフトウェアもあります。また、画像フィルタリング、画像減算、画像登録などの多数の画像解析アルゴリズムや、コントラスト、シャープネス、欠陥領域サイズなどの統計的および形態学的パラメータもサポートしています。このシステムは、マスクエッジ検査など、さまざまなマスクおよびウェーハ検査タスクを実行することができます。これらの検査には、欠陥やパターンエラーなど、マスクの端の異常を検出する高出力顕微鏡が含まれます。このユニットは、正確で再現性のある信頼性の高い欠陥分類と3D欠陥体積測定を提供することもできます。また、SPV（スキャンプローブ顕微鏡）検査のための特定のツールも含まれています。ソフトウェアは、高度なデータ分析をサポートし、マスクやウェーハの表面上の小さな構造の測定を可能にします。このツールには、データ収集、イベント制御、分析、および可視化のためのいくつかの機能があります。結論として、SEMILAB/SDI FAaSt 230 DP+SPVは、より高速な動作で正確で再現性のある信頼性の高い結果を提供するように設計された汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査アセットです。このモデルには、23 インチTFT -LCDデュアルビューディスプレイ、標準プログラマブルロジックコントローラ（PLC）、統合ビデオセンサー、精密マスクアライメント用の自動Zeissアダプタ、高出力光源、検査対物レンズ、フィルタ、および高速スキャニングデジタルエレクトロニクスが組み込まれています。また、効果的な画像セグメンテーションと画像処理を可能にする強力なソフトウェアツールと、さまざまな画像解析アルゴリズムを備えています。マスクエッジ検査やSPV（スキャニングプローブ顕微鏡）検査など、多数のマスク検査やウエハ検査が可能です。