中古 SEMILAB / SDI FAaSt 210E-SPV #9203133 を販売中

SEMILAB/SDI FAaSt 210E-SPVは、半導体ウェハーおよびマスクの欠陥、浸食、表面の完全性を検査するために設計された中級レベルのマスクおよびウェハアライメント顕微鏡装置です。このシステムは、ユーザーフレンドリーな直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えた組み込みの自動ユニット制御（SC）を備えています。800mm×680mm×640mmの小型ながら汎用性に優れた検査装置です。SDI FAaSt 210E-SPVは、半導体業界のオペレータに力を与えるためのさまざまな機能を提供しています。このツールは、多層検査、自動および手動のステージアライメント、傾きとぐらつきの調整、高度なオートフォーカス機能を備えた10位置XYZステージを備えています。また、ダイレクトオンウェーハ操作を備えたブライトフィールド/ダークフィールド画像ディスプレイ、0.3-2.5X倍率範囲を持つ6ポジションコンデンサ、最大25X作動距離を提供します。SEMILAB FAaSt 210E-SPVは、さまざまなレベルの画像取得および分析機能も提供します。内蔵のイメージシフト補正により、ミスアライメントを検出して正確に識別できます。また、欠陥のない検査、エッジ検出、粒子数とサイズ分析のための高度なアルゴリズムベースの機能識別とマスキングも含まれています。また、線幅、エッジプロファイル、オーバーレイ精度など、多種多様な測定が可能です。FAaSt 210E-SPVは、高解像度CCDカメラ資産、調整可能な露光時間、および強力なPCベースの画像解析モデルを備えており、さらに幅広い欠陥/特徴認識および解析を生成します。この機器には、結果を評価し、パス/フェイルステータスを即座に表示するためのさまざまな画像レポート機能も含まれています。全体として、SEMILAB/SDI FAaSt 210E-SPVは、最小欠陥でも確実に検出および測定できるように設計された信頼性の高い中級レベルのマスクおよびウェーハ検査システムです。これは、ユーザーが検査プロセスから最高の結果を得ることができるようにするために、高度な機能の全体のスイートを提供しています。