中古 SEIKO SIR 3000 #9105307 を販売中

SEIKO SIR 3000は、最新の半導体製造プロセスの要求に応えるように設計された先進的なマスク&ウエハ検査装置です。ファインラインパターンやマスクやウエハに内蔵された絶縁回路などのパターンにおける欠陥の正確な測定と同定が可能です。装置の検査機構は、高度な表面イメージングマシンを使用して、マスクまたはウェハの表面特徴を正確に捕捉、測定、検査することから始まります。このツールは、撮影した画像を「良い」参照画像と比較するための光学技術を利用することができます。また、SIR 3000のイメージングアセットは、線幅、絶縁回路、誘電体の厚さを決定するために使用できる3D構造レイアウトなどの表面特性を測定します。また、傷、表面粗さ、ガウジなどの表面および幾何学的欠陥の検査も可能です。この機器には、バッチイメージ作成と画像比較のためのツールが含まれており、迅速な欠陥識別を可能にします。高倍率光学機能により、マスクまたはウェハ内の欠陥をリアルタイムで検出できます。また、ウエハレベルの欠陥検査やマスク欠陥検査、キャラクターグレーディングも行っています。SEIKO SIR 3000では、さまざまなログベースの分析ツールも提供しており、オペレータは画像校正結果を簡単に分析および調整することができます。背面の画像検査は、異物などの特徴を検出するためにも使用できます。SIR 3000では、オートメーションの改善や欠陥ウェーハの高濃度のソフトウェアなど、さまざまなソフトウェアアップグレードが利用可能です。また、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、最大1000枚の画像と測定値を格納できる内蔵データベースを備えています。SEIKO SIR 3000は、マスクやウェーハの検査に必要な精度を実現するために欠かせないツールです。詳細な分析と迅速な結果を提供し、製造プロセスが正しく機能しているかどうかをリアルタイムで把握できます。このマシンの先進技術とユーザーフレンドリーな機能は、今日の市場でマスクとウェーハ検査のリーディングシステムの1つになります。