中古 SDI SPV / PDM 3020 #9042454 を販売中

SDI SPV/PDM 3020はマスクおよびウェーハの点検装置です。マスクとウエハーの製造に使用される包括的で洗練された検査ツールを提供するように設計されています。ウエハ自動検査システム、マスク自動検査装置、パネル検査装置、手動検査をサポートするマニュアルコンポーネントの4つの主要コンポーネントが含まれています。自動化されたウェーハ検査ツールは、ウェーハ上のサイズ、形状、欠陥密度、電気的特徴などの特性を検出および測定するさまざまなセンサおよびイメージング技術を使用しています。エラー、異常、インクルージョンを検出することができます。生成されたデータは、資産によって分析され、矛盾を特定し、生産実行の収量を決定するのに役立ちます。自動化されたマスク検査モデルは、変形、地形、欠陥などの詳細なマスク分析を提供します。それは抵抗の非均一性、暗い穀物の欠陥、軽い汚染の欠陥、ピンホールおよび重大な次元の間違いを含むエラーの範囲を検出することができます。パネル検査装置は、パネルまたは絶縁されたデバイスで幅広い測定を提供するように設計されています。これには、性能特性評価、パワーキャリブレーション、統計プロセス制御（SPC）、歩留まり解析のための測定が含まれます。マスク品質の顕微鏡ベースの分析、ツーリング評価、ウェハマッピングなどの包括的な検査機能を備えています。ブライトフィールドやダークフィールドの検査、走査型電子顕微鏡、反射技術、原子力顕微鏡などの高度な顕微鏡技術を採用しています。要約すると、SPV/PDM 3020マスクおよびウェーハ検査ユニットは、マスクおよびウェーハを高精度に包括的かつ正確に分析します。このマシンは、歩留まり性能を向上させるために、さまざまなエラーや異常を検出することができます。また、歩留まり解析、プロセス制御、パフォーマンス特性評価のための詳細な測定も提供します。