中古 RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940 #293651546 を販売中

RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940
ID: 293651546
Macro wafer inspection system.
RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940 Mask&Wafer Inspection Equipmentは、高いスループットと高精度マスクおよびウェーハ検査用に設計されたマルチビームステップおよびリピートシステムです。このユニットは、複数の独立したビームを使用して、より広い範囲のダイサイズと層を分析し、検査カバレッジとスループットを最大化します。超高速パターン認識および自動欠陥検出機能により、AXI-940は欠陥を迅速に識別および分離することができ、検査および修理に関連するプロセスサイクルとコストを削減できます。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940 Mask&Wafer Inspection Machineには、解像度、フィールドサイズ、およびアクセス角度のための複数の独立したビームとオプションが装備されています。これにより、市販のフラットパネルディスプレイデバイスの製造において、最大限の柔軟性と検査範囲が可能になります。1mmから4mmまでのフィールドサイズのAXI-940は、今日の複雑な設計要件に最適です。エッジトラッキング、マッピング、または印刷ドキュメント用の複数の光学構成とオプションのアクセサリにより、ツールの柔軟性がさらに向上します。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940は、欠陥孔サイズが2。5ミクロン以下の優れた欠陥カバレッジを提供します。この高解像度は、設計機能の最も包括的なカバレッジを可能にし、すべての潜在的な欠陥を最大限に検出します。さらに、アセットは高速動作を備えており、毎秒最大1000 X-Yのステップで、ユーザーにスループットを向上させます。AXI-940の従来の明るいフィールド検査機能に加えて、いくつかのオプションの検査技術が利用可能です。暗視野の照明、位相シフト技術、3Dプローブ補正、プログラム可能なフォーカス制御技術などがあります。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940は、最大5。0%の幅と10。0%の長さのスペクトル変動を補償するための柔軟制御も提供します。AXI-940のマスク及びウェーハの点検モデルはあらゆる生産環境にとって理想的で、速く、信頼できる性能および良質の結果を提供します。この装置は、動作同期や自動校正などの機能を備えており、高精度と画像の均一性を維持することができます。このシステムは、耐久性のある部品と、長期使用に耐える頑丈な鋼構造で、持続するように構築されています。RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940マスク&ウェーハ検査ユニットは、今日の高速生産環境に最適なソリューションです。優れた精度、スピード、柔軟性により、AXI-940は高品質で便利な生産を保証します。ダウンタイムを排除し、効率を高めることによって、マシンはコストを最小限に抑え、収益性を最大化するのに役立ちます。信頼できる性能と簡単な操作により、RUDOLPH TECHNOLOGIES AXI-940は、あらゆるマスクおよびウェハ検査要件に最適です。
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