中古 RUDOLPH / ONTO INNOVATION WV 320 #9379823 を販売中

RUDOLPH / ONTO INNOVATION WV 320
ID: 9379823
ウェーハサイズ: 12"
Macro defect inspection system, 12".
RUDOLPH/ONTO INNOVATION WV 320は、ウェーハ、マスク、およびレチクル測定および認定のための高精度の光学検査を提供するように設計されたプロのマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、産業用および医療用の超精密光学、半導体、およびその他の光学的に敏感な基板の製造に非常に役立ちます。このハイエンド検査ユニットには、10インチスクリーンとレーザースキャン顕微鏡が含まれています。内部の多軸モーションマシンは、サンプルの自動イメージングと正確なアラインメントを可能にします。また、高度なモーションツールにより、サンプルとイメージング資産の連続的なアライメントと位置決めが保証され、より高い歩留まり測定と品質の向上が可能になります。RUDOLPH WV 320は、ウェーハの正面、裏面、サイドウォール、およびテストパターンの正確なイメージングと測定のために、可視から紫外まで幅広い波長で動作します。このモデルは、パターン化されたバッチの欠陥検査や誘電層、ピンホール、微細構造などの非標準構造や形状に特に有効です。さらに、ライン幅、間隔、オーバーレイ、印刷性などの特徴を正確に測定するための高度な測定ツールが含まれています。ONTO INNOVATION WV 320と統合されたソフトウェアは非常にユーザーフレンドリーで、検査登録方法の大規模なデータベースが含まれています。これにより、サンプルイメージの迅速な分析と、より一貫した監視基準のセットが可能になります。ソフトウェアはまた、自動欠陥レビューをサポートし、手動検査ステップの必要性を排除し、生産ラインのパフォーマンスをさらに向上させます。さらに、WV320から取得した画像をすばやく調整、サイズ変更、編集できる高度なデータ操作アプリケーションも搭載しています。このユーザーフレンドリーなアプリケーションは、さらなる分析や印刷のために画像を自動的に保存してエクスポートできます。RUDOLPH/ONTO INNOVATION WV 320は、正確で自動化された分析を迅速に提供することにより、生産ラインがより高いレベルのパフォーマンスを達成するのを助けることができる高度なマスク&ウェーハ検査ユニットです。このツールは、高度なモーションマシン、高レベルの解像度、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えており、産業用および医療用の高精度光学検査を必要とする業界に最適です。
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