中古 RUDOLPH / ONTO INNOVATION WHS220 #293585586 を販売中

RUDOLPH/ONTO INNOVATION WHS220は、ウェーハやマスクの検査用に設計された高性能マスク&ウェーハ検査装置です。標準のインテルCore i5プロセッサーを搭載しており、イメージプロセッサー、より大きなRAM、より多くのハードドライブ容量などの専用ハードウェアを追加することで、パフォーマンスを向上させることができます。RUDOLPH WHS220は、Windows 10 Proオペレーティングシステムと信頼性と再現性の高い検査結果を保証する堅牢なハードウェアプラットフォームに基づいています。このユニットは振動ステージを備えており、検査する石英ウェーハを配置します。ステージは、ステージをX、 Y、 Z軸に沿って同時に移動させる高度なパンケーキステッピングモーターによって駆動され、マシンはウェーハ表面全体を横断し、その特徴に関連するデータをキャプチャすることができます。また、検査サイクル中にウェーハの特徴をカメラ上に正確かつ再現可能にアライメントします。ONTO INNOVATION WHS220は、光検査技術と高精度の商用カメラを組み込み、ウェハの特徴の画像を取得します。最適なイメージング条件を確保するために、明るいテレセントリック照明ツールが使用され、ステージ全体と視野全体に均一な照明を提供します。画像処理アルゴリズムは、フィーチャーのサイズと形状を分析して個々の要素の正確さを決定します。WHS220には、ダイとマスクを検査するために設計されたマスク検査モジュールも内蔵されています。5軸ロボットアームを使用して、ダイをステージ上に正確に配置してマスク検査を行います。このアセットには、明るい冷光発光ダイオード（LED）照明と6メガピクセルの商用カメラが組み込まれており、マスクの個々の要素の精度を評価するために、あらかじめ定義されたパス/フェイル基準と比較された画像をキャプチャします。RUDOLPH/ONTO INNOVATION WHS220は、クォーツウェーハとマスクの両方の欠陥を検出する理想的なツールです。このモデルは操作が簡単で、技術者、研究者、その他のユーザー向けに設計されたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。さらに、ウィンドウベースのプラットフォームで動作し、他のプロセスと容易に統合できます。精度とパフォーマンスを向上させるために、機器は要求に応じて追加のハードウェアとソフトウェアオプションを使用して大幅にカスタマイズ可能です。