中古 RUDOLPH / AUGUST XPORT #293644799 を販売中

RUDOLPH/AUGUST XPORTは、洗練された精密なマスクとウェーハ検査装置です。それは大きいおよび小さいバッチ生産の必要性を扱うように設計されています。X線散乱、光学散乱計、3Dプロファイル測定などの高度な機能を利用した非破壊検査およびマスク検査機能を提供します。システムのXY軸ステージは、正確で信頼性の高いウェーハとマスクの位置決めのための堅牢なリニア電動ステージです。ユニットのZ軸は、ナノメートルスケールで正確な高さ調整を可能にします。高度なイメージングおよび照明装置をこのツールに統合することで、解像度0。25〜0。75 µmの3D画像データを正確かつ正確に取得できます。統合された光学資産は、3つのデータ取得モード、すなわち、表面検査、ウェーハおよびマスク検査が可能です。シャドウイメージ；3Dプロファイルデータの取得。また、サーフェスイメージングと欠陥解析も自動化されています。高度なステージコントロールおよびイメージングおよび測定システムを制御するための高性能ビジョン電子モデルが含まれています。統合されたデータ収集ソフトウェアは、すべてのパラメータへの容易なアクセスと制御を提供し、ユーザーが優れた分析と画像データの追跡を可能にします。装置は変化する顧客の要求およびさまざまな適用に非常に適応可能です。顧客サイトに簡単にインストールでき、サービスチームによって完全にサポートされています。AUGH XPORTは、正確で高解像度のデータ取得を実現する高度なマスクウェハ検査システムです。これは、高度なイメージングと照明ユニット、XYとZ軸ステージング、および高速ビジョンエレクトロニクスを提供しています。直感的なデータ分析とディスプレイソフトウェアにより、市場で利用可能な最も効率的なマスクおよびウェーハ検査システムの1つを提供します。