中古 RUDOLPH / AUGUST WV320 #9350873 を販売中
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タップしてズーム
RUDOLPH/AUGUST WV320は、半導体ウェーハおよびマスクの欠陥を検査するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。光学顕微鏡と高解像度イメージングを使用して、ウェーハまたはマスクの前面と背面の両方を検査します。このシステムは、粒子、ライン欠陥、ピット、スポット、およびその他の不規則性を正確に識別することができます。この光学画像は、詳細な高精細画像のために最大20メガピクセルの解像度でキャプチャされ、0。01 µm （10nm）の小さい特徴を検出することができます。また、裏面開口イメージングを搭載し、ハイコントラスト反射測定などの高度な機能を備えたウェーハの裏面検査を自動化します。AUGTH WV320は、直径200mmまでのウェーハに対応できる、調整可能な大規模な建設エリアも備えています。ユーザーフレンドリーなGUIを搭載し、タッチスクリーンコントローラで制御されています。さらに、自動化されたウェーハフィーダを使用することで、大量のウェーハを迅速かつ効率的に検査できます。また、自動欠陥検出機を搭載し、自動的に欠陥を検出して分類し、迅速かつ効率的な処理を実現します。このツールは、粒子、ライン欠陥、ピット、スポットなどのさまざまな欠陥を認識できます。アセットが欠陥の種類とサイズを正確に分類できる高度なアルゴリズムを備えています。最後に、RUDOLPH WV 320は、高速応答オートフォーカスと自動ズームを備えています。これにより、温度変動や電圧変動などのサンプルの変化に素早く対応できます。これにより、検査の精度と信頼性が向上し、機器の全体的な効率が向上します。要約すると、WV320は、高解像度イメージングと自動欠陥検出で半導体ウェーハとマスクを検査することができる最先端のマスクとウェーハ検査システムです。ユーザーフレンドリーなGUI、自動ウェーハフィーダ、高速オートフォーカスおよび自動ズームなどの高度な機能により、効率的で強力なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。
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