中古 RUDOLPH / AUGUST WV320 #293587810 を販売中

RUDOLPH/AUGUST WV320は、革新的で統合されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高精度のCNC制御スキャンステージに取り付けられた独自の光学干渉計ベースの検査ヘッドで構成されています。スキャンステージはコンピュータ制御されており、最大3つの独立した軸を移動できます。各軸は、x、 y、およびz方向に最大5ミリメートルのヘッドを変換することができます。ユニットは、光源、レンズ、接眼レンズ、偏光キューブからなる固体干渉計を使用しています。偏光キューブは、検査するマスクまたはウェーハの表面に光を照射するために使用されます。表面に反射した光をレンズで回収し、画像取得を可能にします。AUGH WV320マシンは、フラットおよびカーブウェーハとマスクの両方を高精度で検査できます。このツールは、0。25ミクロンの測定可能な分解能を持つサブミクロン検査用に設計されています。検査速度は0。5〜3。5Hzまで調整可能で、検査対象のウエハやマスクのサイズに依存します。アセットは、丸み、割れ、欠け、側面の故障から、ガラスカバー板の過度の摩耗までの欠陥を検出できます。サイドウォールジオメトリ、穴サイズ、ピッチ、マイクロビア、トラック、グリッドなどの機能も測定できます。欠陥および特徴の測定に加えて、装置に量的および統計的なバイナリデータの両方を提供する独特な容量があります。これは、分散したフィーチャーパターンを評価するときに特に有益です。また、サンプル検査時に欠陥分布などを検出できる専用ソフトウェアを搭載しています。ソフトウェアはまた、より高速な欠陥検出のための自動キャリブレーションルーチンを備えています。RUDOLPH WV 320ユニットは、ウェーハおよびマスク用途向けの信頼性の高いユーザーフレンドリーな検査機です。これは、すべての半導体アプリケーションに適した解像度で、高速で正確で再現性のある欠陥検出と機能測定を提供します。検査ツール内のソフトウェアは、欠陥分布と複雑なパターンを容易に識別する機能を追加し、WV320は今日の要求の厳しい半導体業界にとって理想的な選択肢となります。