中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9395555 を販売中

ID: 9395555
ウェーハサイズ: 6"-8"
Defect inspection system, 6"-8" XANDEX 350-0002 Pneumatic die marker controller Objectives: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x PC.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95マスク&ウェーハ検査装置は、半導体、フラットパネルディスプレイ、マイクロエレクトロニクス製造におけるマスクおよびウェーハの信頼性の高い検査用に設計された汎用性の高い高性能システムです。AUGH NSX-95はトポロジカルとオーバーレイの両方の欠陥を検出することができ、全層検査機能を備えています。本装置は、ブライトフィールド/デュアルカラーのブライトフィールド/DUVトランスミッシブ検査技術を採用しており、シングルサイクルウエハーおよびマルチサイクルウエハーのトポロジカル欠陥とオーバーレイ欠陥の両方を検査することができます。RUDOLPH NSX 95の高いダイナミックレンジ検出と高精度な位置決めにより、LCDフラットパネルディスプレイ、マスク、ウエハーなどのTFT基板とLCD基板の組み合わせを使用できます。NSX 95には、従来のオートフォーカスおよびオートスラックアライメント(ASA)技術が搭載されており、検査中に基板を正確にスキャンすることができます。また、ABC (Automatic Binning Counter)を搭載しており、複雑な欠陥フィーチャーの配列に基づいた統計検査を可能にし、オブジェクトの自動認識を可能にします。この機械の高感度光集積タイミングは、0。1 umライン構造を検査することができ、複数のゾーン/基板/ピクセルフィールド設定をサポートします。また、PowerPC 417と、迅速かつ正確なセットアップと検査を可能にするユニバーサル入出力ツールが装備されています。提供される高度なツールには、パターンマッチライブラリ、マルチサイト検査用のマルチディフェクトモニタリング(MDM)、欠陥識別用のTrue Eyeテクノロジー、冗長欠陥の識別用のTrue Cog、障害記録用の高感度プリンタ、リモートアクセスと制御用のPCネットワークインターフェイスが含まれます。さらに、AUGUST NSX 95マスク&ウェーハ検査アセットには、柔軟でモジュラーなソフトウェアアーキテクチャが付属しており、ユーザーフレンドリーでステップバイステップの操作を提供します。自動化機能は、セットアップ時間を短縮し、信頼性の高いデータ精度を提供するために含まれています。このモデルの包括的なサービスと現地サポートは、定期的な機器のメンテナンスや修理を必要とするお客様を包括的にサポートします。全体として、NSX 95マスク&ウェハ検査システムは、故障解析、品質管理、プロセス制御のための優れたツールです。マスクやウエハーのトポロジーとオーバーレイの両方の欠陥をさまざまな基板で正確に検出する機能を備えており、データ分析と自動化のための強力なツールを備えています。信頼できる性能、サービスおよびサポートによって、この単位は半導体、フラットパネルディスプレイおよびマイクロエレクトロニクスの製造業のための理想的な選択です。
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