中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9207041 を販売中

ID: 9207041
ウェーハサイズ: 8"
Defect inspection system, 8" WHS Manual load type.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95マスク&ウェーハ検査装置は、半導体および光電子部品の製造に使用されるマスクおよびウェーハの検査および分析用の高精度、高スループット機械です。レーザーベースの光学ビームデリバリーユニットと高解像度イメージングを採用し、表面の詳細なテクスチャ解析、欠陥試験などの検査を行います。機械は2つの主要な部品から成っています:マスクおよびウェーハが荷を積まれ、点検される視野の場所;そしてレーザー制御された光学ビームが表面の質の均等性を測定し、確認するのに使用される点検場所。ビジョンステーションには、イメージセンサーとコンピューター制御のカメラヘッドが装備されており、ウェーハの表面の画像をキャプチャします。特殊なソフトウェアがこれらの画像を処理することで、点欠陥を特定し、複雑な表面特性を測定することができます。検査ステーションには、マスクおよび/またはウェーハの表面を正確にマッピングするレーザービームマシンが装備されています。このツールは、専用の光ファイバービームスプリッタを使用して、レーザービームを複数のディスクリートビームに分割し、ウェーハまたはマスクの表面を再画像するために使用します。これらのビームは表面に焦点を合わせ、CCDアレイによって収集され、再結合されて表面の画像が作成されます。この画像を専用のコンピュータソフトウェアで解析し、表面粗さ、線幅などの検査を行います。このアセットは、品質管理、欠陥マッピング、およびウェーハトラッキングのための強力なソフトウェアスイートも提供します。AUGTH NSX-95 Mask&Wafer Inspection Modelは、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されており、優れた性能と信頼性を提供しながら、プロセスのサイクル時間とコストを削減します。表面の質感などの特性を正確に測定できるため、半導体メーカーや光電子部品メーカーにとって貴重なツールです。
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