中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9206002 を販売中

ID: 9206002
ウェーハサイズ: 8"
Defect inspection system, 8" Manual load type No WHS No automatic wafer handling modules.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95は、幅広いマスクやウェーハの異常を特定するために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクとウェーハの両面の高解像度光画像を提供し、詳細かつ信頼性の高い検査を行います。このシステムには、迅速かつ正確な画像処理のためのデジタルイメージングユニットと、より詳細な3D欠陥測定のための特許取得済みの3次元測定技術(3DMT)があります。両光学顕微鏡による並列処理構成により、リアルタイム・高速検査を可能にし、機械のアイドル時間を短縮します。統合欠陥解析ソフトウェアには、ユーザーがマスクやウェーハの欠陥を客観的に検出、分類、測定できるさまざまな機能が含まれています。自動測定およびパス/フェイル解析ソフトウェアは、正確な欠陥検出を保証し、ヒューマンエラーを排除します。AUGH NSX-95には、ビデオテープ再生とインタラクティブなデジタルビデオ分析でデータをキャプチャ、保存、レビューする高度な画像取得ツールも含まれています。このアセットには、走査型電子顕微鏡とX線回折モデルも含まれており、マスクパターンの品質と精度を検査するために使用することができます。RUDOLPH NSX 95には、マスクとウェーハブロックの複数ステージが用意されており、マスクとウェーハの位置決めを容易にして検査が可能です。さらに、検査機器と外部データベースの高度なインターフェースにより、さまざまな製造機械やシステムに保存されているデータに簡単にアクセスできます。要約すると、NSX 95は、信頼性の高い、詳細かつ正確な検査を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。デジタルイメージングユニット、特許取得済みの三次元測定技術(3DMT)、統合欠陥解析ソフトウェア、高度な画像取得機、電子顕微鏡のスキャン、X線回折ツール、マスクやウェーハブロックの複数ステージを垂直および水平に移動できます。また、検査資産と外部データベースの間の安全なインターフェースを提供し、データへの迅速かつ容易なアクセスを可能にします。
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