中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #293755120 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 95マスク&ウェーハ検査装置は、高度で完全に自動化されたウェーハ検査システムです。高解像度走査型電子顕微鏡（SEM）とロボットウェーハステージを組み合わせ、高速かつ正確なウェーハ検査を実現します。AUGH NSX-95は、45nmプロセス技術までのウェーハの最も厳しいレイアウトトレランスを迅速かつ正確に検査するために設計されています。超深度サブミクロン（uDSM）レベルの半導体生産の欠陥を検出することができます。RUDOLPH NSX 95は、高速、高解像度、最大解像度0。2nmのカラーSEMと1000x1000µmまでの画像サイズを備えています。これは、正確な欠陥測定と認識に必要な最高の倍率と視野を提供します。ロボットウエハステージと統合ダイ領域解析オプションにより、生産ウエハとリファレンスウエハの両方を高速かつ非破壊的に評価できます。マスク&ウエハ検査ユニットは、同じ照明条件下でサンプルを並べて見ることができる高解像度LED照明機を備えています。この機能は、パターン認識を含む色分けされた技術に不可欠です。AUGH NSX 95には強力な自動サンプル位置決めツールが装備されており、サンプルの読み込み時間を短縮する正確で高速なサンプル位置決めが可能です。RUDOLPH NSX 95には、ユーザーに最高の精度の欠陥認識を提供するためのいくつかの高度な機能が含まれています。これらの機能には、迅速で信頼性の高い欠陥認識を可能にする欠陥認識アルゴリズム（DRA）が含まれます。DRAは、インライン生産欠陥と参照欠陥の両方を検出できます。また、素早い粒子分析のための自動粒子解析（AiPA）オプションと、ユーザーの入力に基づいて正しいウェーハを選択できる自動サンプル割り当て（ASA）を備えています。最後に、NSX 95はバックエンドプロセスモデルと堅牢なデータストレージへの直接欠陥転送と、安全なインターネット接続によるリモート診断/トラブルシューティングを提供します。これにより、簡単なセットアップと高速データ転送が可能になり、納期が短縮されます。全体として、RUDOLPH NSX-95は強力で信頼性の高いマスク&ウェーハ検査装置であり、迅速かつ正確なウェーハレベルの欠陥検査を可能にします。高速走査型電子顕微鏡とロボットウエハステージは、高速で正確なサンプル位置決めと画像解析を提供します。LED照明システム、欠陥認識アルゴリズム、粒子解析、自動サンプル割り当て機能は、生産およびプロセス開発において最高の精度の欠陥認識を提供しながら、ユニットを効率的かつ信頼性の高いものにします。