中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #293689850 を販売中
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RUDOLPH/AUGUST NSX 95は、8インチと12インチの両方のウェーハを高速かつ解像度で検査できるマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウェーハ検査のパターンなどを検出できる高度なビジョン技術を搭載しています。また、オートフォーカス機を搭載しており、撮影した画像の高精度を実現し、ウェーハの特徴を0。1mmの距離で識別することができます。このツールは、ウェーハ表面全体に均一な照明を提供することができる高度な照明アセットを持っています。これにより、欠陥をより明確に照らし、識別しやすくなります。また、高度な画像処理技術を使用して、リソグラフィ、サブミクロン登録、物理的欠陥、電気的欠陥、オーバーレイ精度、CD解析などのウェーハのさまざまな側面を特定します。AUGH NSX-95には、ウェーハの傾きや平坦度を検出できるフラットレベルの検査装置もあります。これは、設計仕様に適合するために重要です。このシステムには、パターンとオーバーレイ精度をチェックできるレーザービームプロファイラもあります。また、欠陥画像解析(DIA)装置を搭載しており、ウェハ上の欠陥を高精度に認識し分類することができます。このツールはまた、迅速かつ簡単に操作するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが装備されています。また、複数のジョブを保存してロードすることも可能で、異なる検査要件を簡単に切り替えることができます。アセットは、検査プロセスを自動化し、オペレータの介入を減らし、プロセスの速度を向上させることもできます。最後に、RUDOLPH NSX 95は、テクニカルサポート、アップグレード、およびスペアパーツの包括的なサービスパッケージもサポートされています。これにより、製品はピーク性能を維持し、今後数年間効果的に使用することができます。
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