中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9272584 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 90マスクおよびウェーハ検査装置は、半導体製造におけるマスクとウェーハの両方を検査するための統合インラインソリューションです。AUGH NSX 90は、最高レベルの精度と精度を提供し、マスクおよびウェーハ製品の全体的な品質と信頼性を向上させるように設計されています。システムは4つの主要コンポーネントで構成されています。マスクステージは、最大10um/sの検査速度が可能な2軸電動X-Yステージを使用しています。ウェーハステージは、2軸電動XYステージで完全に自動化され、4ビーム接触アライメントユニットが含まれています。統合された光学カートリッジには、ウェーハ検査用とマスク検査用の2つのレンズモジュールが含まれています。レンズは8Xから100Xまでの可変倍率を提供し、ピクセル解像度は0。0008um。統合されたQX30画像検出器は、毎秒1000フレームで画像をキャプチャすることができます。データ収集および解析モジュールは、画像分析のための強力なプラットフォームを提供します。リアルタイム制御、分析、レポート機能を備えたグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このモジュールには、組み込みの配列比較、形態学、および領域解析方法を使用して幅広い欠陥を検出するように特別に設計されたさまざまなアルゴリズムも含まれています。RUDOLPH NSX-90のマスクおよびウェーハの点検機械は最も高い企業の標準に合うように設計されています。堅牢なハードウェアと強力なソフトウェアにより、あらゆるタイプのマスクおよびウェーハの欠陥を確実に検出できます。高速性能と高精度な精度により、多種多様なマスクやウェーハの検査に最適です。