中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9150909 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 90マスク&ウェーハ検査装置は、マスクやウェーハを検査するための高速システムです。ワンストロークで最大23secondsで最大90waferの検査が可能で、高い生産性とスループットを実現します。このユニットは、Y軸とX軸、およびスピン傾き（ST）スキャナーの最大3軸の動きを提供します。Y軸は、サンプルを適切な検査位置に導くために使用されます。X軸は、部品に対してパッシブアライメントに使用されます。スピンチルトスキャナは、検査方向と均一な照明条件を確保するために使用されます。検査装置は完全なデジタル機械であり、高度な光学部品が含まれています。20nmの光学検査分解能と± 2 μ mの3D再現性を提供します。カメラは、高いスループットと高精度のイメージングのために設計されています。高性能な照明は、最適な画像の詳細をキャプチャするために、さまざまな角度で同軸および非同軸の照明を提供します。検査ツールには、最先端の画像処理アセットが装備されています。欠陥画像の高速解析、自動欠陥分類、迅速欠陥検査を提供します。これは、小さな泡や亀裂、欠落または間違った部品、歪んだまたはずれた部品、およびさまざまなサイズの異物などの欠陥を検出して識別することができます。このモデルは、欠陥統計を含む包括的なウェーハ検査データ分析も提供します。また、AUGH NSX 90マスク&ウェーハ検査装置には、連続検査、サンプルサイズ調整、バッチサイズ調整などの機能が追加され、生産性と品質管理が向上します。適応スキャン、マルチフォーカス検査、ジョブローディングなどのその他の機能も、検査システムに運用の柔軟性を追加します。