中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 3DI AXI / UltraPort5 #9233701 を販売中

RUDOLPH/AUGHT NSX 3DI AXI/ UltraPort5は、半導体業界の高解像度パターニング用途に特化して設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。マスクスライスやウェーハのエッチングパターンの欠陥を、比類のない精度と再現性で検出できます。3DIアーキテクチャは、先進的な光学系を使用して、光源と画像平面の間で最大5°の動的イメージング角度調整を実現し、最大80°までのトップアングルのパターンを正確に検査できます。このシステムは、フォトリソグラフィープロセスに起因する欠陥の検出速度が最大5 μ mで3 σであり、最も微細な欠陥の検出を可能にします。また、独自の光真空照明ユニットにより、粒子の塵によるカメラ画像の変動を大幅に低減します。AUGH NSX 3DI AXI/ UltraPort5は直感的なUIインターフェースを備えており、使いやすく、制御が容易ですが、モジュラー設計により、お客様の特定のニーズに合わせて機械を調整することができます。RUDOLPH NSX 3DI AXI/ UltraPort5には、自動サンプル位置決めと向きを備えた革新的で堅牢なウェーハ登録ツールも組み込まれています。このアセットにより、各検査が正確かつ再現的に実行されると同時に、ウェーハバックリング効果を予測することができます。このモデルは、静的欠陥パターンとは対照的に、動的欠陥クラスタなどの移動ターゲットの検査を可能にするオプションの「ムービー」モードも提供します。さらに、この装置は電子ビーム検査コンポーネントを提供し、3DI AXI/ UltraPort5の欠陥カバレッジを大幅に向上させます。この機能により、製造メーカーはマスクとウエハパターンセット全体をわずか数秒で検査でき、スループットが向上し、コストが削減されます。3DI AXI/UltraPort5の優れた処理能力により、最大4つのウェーハを同時にマッピングおよびレビューできます。また、7。5インチの大型LEDディスプレイは、欠陥を容易に識別するための明確なイメージングインターフェイスを提供します。NSX 3DI AXI/ UltraPort5は、最先端の技術とマスクおよびウェーハ検査用の直感的な設計の理想的な組み合わせです。これまでにない精度で小さな欠陥を検出することができます。モジュラー設計と直感的なインターフェイスにより、このシステムは使いやすく維持できるだけでなく、費用対効果も高くなります。