中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 330 #9298649 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 330は、マスクとウェハの欠陥を迅速に識別することで、プロセスの歩留まりと品質を向上させるように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高度な光学システムは、高分解能イメージングを使用して、10ナノメートル以上の精度で半導体の欠陥を識別します。これにより、プロセスは最高速度と効率で高品質の製品を生み出すことができます。AUGHユニットは、LED照明、デジタルカメラ、顕微鏡ステージ、ウェハサポートメカニズム、画像キャプチャソフトウェアパッケージ、フィルタホイール、電動X&Yステージ、産業用PC、制御および操作ソフトウェアなどのコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントを組み合わせることで、マスクとウェーハ表面の小さな欠陥を識別、分類、測定できる自動画像検査機を作成します。このツールは「、電子ビーム処理（EBP）」と呼ばれる特許技術を使用しています。この技術は、ウェーハとマスクから画像データを収集し、参照画像と比較します。得られた差分マップは、10ナノメートル以上の分解能で微細な欠陥を検出して測定するために使用されます。アセットには、最大10種類のフィルターセットをサイクルして、粒子や傷などのさまざまな種類の欠陥を検査する機能もあります。AUGH NSX 330モデルには、キャプチャした画像を即座に処理できる強力な画像解析パッケージがあり、検査シーケンスで検出された欠陥を包括的に分析できます。この装置はまた、ユーザーが1つのプロセスで無制限の数のウェーハとマスクを検査することを可能にするバッチジョブを許可します。信頼できる点検プロセスを保障するためには、RUDOLPHシステムは各点検の前後に厳密な品質保証の点検および口径測定のプロシージャを採用します。これにより、ユニットが適切かつ効率的に動作することが保証されます。結論として、RUDOLPH NSX-330は、プロセスアセンブリの品質、歩留まり、速度を向上させるように設計された堅牢で信頼性の高いマスクおよびウェハ検査機です。このツールは、最大10ナノメートルの精度で、高精度で費用対効果が高く、ユーザーフレンドリーです。