中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #9243740 を販売中

RUDOLPH / AUGUST NSX 320
ID: 9243740
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2013
Automated defect inspection system, 8" 2013 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 320は、リソグラフィーベースの試験装置の高速、正確、再現可能な解析を提供するように設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、ADDC (Automatic Defect Detection and Counting)ソフトウェアの高度なナノメトリクスを使用して、生産ウエハおよびマスクの欠陥を迅速かつ正確に検出および定量化します。このユニットは、マスクとウェーハの微細な欠陥を検出し、定量化するように設計されています。AUGH NSX 320は、ウェハの厚さ、クリティカルおよびオーバーレイ、画質、塗りつぶし係数、ピッチ測定、および地形的欠陥の正確な測定を提供します。革新的な自動化された機械は、試験装置の時間を短縮し、効率を向上させます。このツールは、デュアルビューイルミネーション角度、可変フィールドサイズ、およびキャリパーベースのフォーカシングアセットを備えた単一のカメラ設計を利用しており、正確な画像キャプチャと分析を提供します。このモデルの高度なアルゴリズムは、再現可能な精度と最小限の手動介入により、サイトのサイト、孤立した欠陥、および複雑な欠陥を検出して識別することができます。このソフトウェアは、プロセス条件と欠陥認識サポート、ビュー検索プロセス、自動欠陥カウント、自動ヒストグラムとサイズ分布解析、自動欠陥検出を備えています。RUDOLPH NSX 320は、プラグアンドプレイ機能、直感的なグラフィックユーザーインターフェイス(GUI)、自動化されたバッチ処理により、操作が容易になるように設計されています。装置は、バッチごとに異なるサイズの最大8ウェーハをサポートしています。さらに、ユーザーはレシピを定義して保存し、プロセスレシピと設定をキャプチャして保存し、再現可能で最適化されたテストに簡単に再利用できます。システムはSEMI E134の標準に従い、顧客の必要性を満たすためにカスタマイズすることができます。NSX 320は、試験装置の高速、再現性、正確な解析を目的として設計された、高度で自動化されたマスクおよびウェーハ検査ユニットです。このマシンは、高度な欠陥検出、直感的なGUI、自動化されたバッチ処理、プラグアンドプレイ機能、および高度な分析のための革新的なシングルカメラ設計を備えています。RUDOLPH/AUGUST NSX 320は、デバイスの製造、半導体製造、および研究開発をサポートするために、信頼性が高く、再現性があり、安定した測定画像データを提供します。
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