中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #293827301 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 320は、半導体ウェーハおよびマスクの欠陥を特定するために設計された先進的なマスクおよびウェーハ検査装置です。この技術には、表面欠陥、許容できない寸法、およびその他の潜在的な欠陥を迅速かつ正確に検査するためのイメージングおよび分析システムが含まれています。AUGH NSX 320は、シングルパスイルミネーションシステム、強化された光学系、高精度x/yステージを備え、最大6つのウェーハ（3つのマスクと3つのウェーハ）を1つのアライメントでスキャンできます。また、高度なパーティクルマーキング、調節可能な深度制御、可変Zピッチを備えています。この機械の仕様には、視野8x8mmのイメージングツール、横分解能1。0 μ m、マスクとウェハ検査の両方に使いやすいインターフェースが含まれています。色に依存しないアセットは、高いダイナミックレンジと高度なコントラスト管理を備えています。RUDOLPH NSX 320は、ハロゲンやコールドイルミネーションなどの高度な照明レベルと照明技術を活用して、スループットを最大化し、画質を向上させます。また、表面のどこに配置されていても、短い欠陥と長い欠陥の両方を識別する高度な欠陥検出アルゴリズムも備えています。この装置は、特徴とパターンを区別できる「スマートな」欠陥識別システムを備えており、欠陥を正確に特定することができます。また、信頼性と精度を確保するために、NSX 320は、機械内の各検査をキャプチャして記録するための特別な追跡ユニットを採用しています。データを使用して、ツールを校正し、各検査を経時的に追跡することができます。RUDOLPH/AUGUST NSX 320は、表面欠陥、許容できない寸法、およびその他の潜在的な欠陥のマスクおよびウェーハを迅速かつ正確に検査するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査アセットです。その高度なイメージングモデル、可変Zピッチ、および統合された欠陥検出アルゴリズムは、ユーザーの信頼性と再現性の高い結果を作成するのに役立ちます。