中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #293641043 を販売中

ID: 293641043
Macro defect inspection system.
RUDOLPH/AUGUST NSX 320マスク&ウェーハ検査装置は、半導体の製造に使用される基板およびマスクの特性を検出および監視するために設計された先進的な自動装置です。AUGH NSX 320は、最新の表面観察技術と使いやすいインターフェイスと正確なプロセス機能を組み合わせて、マスクおよびウェハ検査のニーズにワンストップで対応します。RUDOLPH NSX 320は、高度なイメージング技術を使用して、マスクと基板の両方の高解像度画像を取得します。これにより、プロセスに影響を与える欠陥、汚染物質、その他の問題のパターンを微視的に調べることができます。さらに、検査結果の精度と解像度をカスタマイズできる特殊な性能パラメータを備えています。ユニットのウェハ検査部では、NSX 320は高度な欠陥検出機能とプロセス最適化機能を備えています。このマシンは、欠陥密度、スループット、歩留まりなどのパラメータを自動的に追跡、計算、比較することで、ユーザーがプロセスを迅速かつ正確に監査できるように設計されています。このツールは、プロセスのトレーサビリティと品質管理の向上を同時に提供しながら、スプレッドシートやPDFなど、さまざまな形式で詳細なレポートを生成することができます。RUDOLPH/AUGUST NSX 320のマスク検査機能には、アートワークや3Dフォトマスクなど、あらゆるサイズとレイヤータイプのマスクが含まれます。アセットはエキスパートアルゴリズムを適用して、ミスアラインメント、変形、不一致などの非常に微妙なパターンの欠陥を特定します。Mask MASA Technologyは、パターンの自動および手動測定および分析に使用され、重要な欠陥のない領域を迅速かつ正確に決定できます。AUGH NSX 320には、高度なキャリブレーションおよびモニタリング機能も含まれています。これらのツールは、正確性を確保し、既存のすべてのエラーを検出し、新しいエラーを最小限に抑えるように設計されており、ユーザーはマスキング層の位置と形状を検証し、その結果を最適化することができます。さらに、定期メンテナンスや製品開発時の時間とリソースを節約するために、さまざまなジョブ制御および自動検出機能を利用できます。結論として、RUDOLPH NSX 320マスク&ウェーハ検査モデルは、高度で信頼性の高い自動検査ソリューションであり、プロセス制御と製品品質保証の向上をユーザーに提供できます。この装置は、高度なイメージング、マスキング、キャリブレーション、モニタリングなど、幅広い機能と機能を提供しており、これまで以上に迅速かつ正確にマスクおよびウェーハの欠陥を検出および識別することができます。
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