中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115D1 #293598225 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 115D1は、半導体マスク検査から重要な高解像度検査および欠陥検出まで、幅広い用途に対応できるように設計された包括的なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、完全に自動化された検査シーケンス、マスクの発光のためのAutoalign機能、および高倍率のためのフルコントラスト強化された画像表示を備えています。AUGH NSX 115D1には、6Xから900Xまで25の倍率設定が装備されており、5Xから100Xまで、迅速で低倍率検査が可能で、8Xから900Xまで詳細な検査と欠陥解析が可能です。マスクとウェーハを検査する際に柔軟性を高める機能を追加しました。また、4台の高性能デジタルカメラを搭載し、マスクやウエハーの検査・分析を行うことができます。RUDOLPH NSX 115 D 1は、優れた欠陥検出機能を提供するように設計されています。0。2ミクロン、8ミクロンと小さい可能性のある欠陥を検出または示すことができます。このマシンは、低コントラストと高コントラストの両方の検出を提供し、ハイエンドの多層検出ツールは、画像ノイズを低減するために、画像の解像度の範囲を表示することによって、可能な最も明確な画像を保証します。このアセットには、高性能検査に必要な超解像度用の2つの高度な画像処理アルゴリズムと、低コントラストで高解像度の画像を処理する機能が含まれています。ズームイン/アウト、マニュアルフォーカス、ローカルエリアスキャン、測定機能などの追加機能により、検査と分析を改善できます。マスクまたはウエハ検査の観点から、NSX 115 D 1は、ボイド、開口部、ショーツ、バリ、その他の欠陥を識別することができます。オートアライン機能により、基板内のマスクパターンを2 μ m以下の精度で揃えることができます。また、テクスチャの検査、パーティクルのハイライト、歪み、エッジマッピング、光学系やカメラでは検出できないクリア/歪んだパターンなども行います。RUDOLPH/AUGUST NSX 115 D 1は、幅広い用途に対応する最高の精度と制御を提供する、信頼性の高い簡単なマスクおよびウェーハ検査装置です。NSX 115Dは、優れた性能、優れた機能、高度な設計により、あらゆる半導体製造プロセスに最適なソリューションです。