中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9395408 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 115マスクおよびウェハ検査装置は、半導体マスクの欠陥検査を行う半自動システムです。AUGH NSX 115は、手作業による検査に時間がかかりすぎる低解像度イメージングおよび最大4µm分解能イメージングのための迅速で効率的なウェーハおよびマスク検査を提供します。このユニットには、最大8つの200mm径を検査するためのウェーハステージが付属しています。高速でウェーハ。また、調整可能なMask Insight Machine MAG PIEは、複数のパッドでオートフォーカス機能を提供するだけでなく、最高の欠陥を検出するために400p/mmレンズで動作する高解像度の光学ツールも備えています。RUDOLPH NSX 115のソフトウェアはシンプルで直感的です。これには、検査ジョブをプログラミングするための使いやすいダイアログボックスを備えたドラッグアンドドロップインターフェイスが含まれています。このアセットには、ウェーハ検査、フォーカス調整によるウェーハ検査、マスク検査の3つの動作モードが含まれています。ウェーハおよびマスク検査は、1時間あたり最大1,000回のウェーハ検査で迅速かつ簡単に完了します。ユーザーの利便性のために、このモデルは、合成開口イメージング、デジタルビデオズーム、ライトニング、画像強化機能など、さまざまな画像キャプチャ機能を提供しています。NSX 115は、パターン認識と識別の自動化も備えています。この装置は、ウェーハやマスクの積み降ろし用のAGVロボット、および検査データを保存およびアーカイブするための外部オフライン分析ステーションと統合することができます。これらの機能は、システムのコンパクトな設計とともに、ウェーハおよびマスク検査に関連する幅広い作業に最適です。さらに、このユニットは、さまざまな業界の顧客の要求に応えるように設計されています。その結果、RUDOLPH/AUGUST NSX 115は、半導体マスクおよびウェハ検査の分野で最も厳しいユーザーのニーズを満たすことができます。