中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9394174 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 115マスク&ウェーハ検査装置は、連続マスクおよび二重パターンのレチクル用途の検査を提供するように設計された高精度、高スループットシステムです。本体には5MP スクエアCCDカメラを搭載し、8um低K1、 10um高K1の検査解像度を実現しています。カメラはZ軸に搭載されており、3Dマスクジオメトリの完全なマスク深度（MDoF）キャプチャを可能にし、機械は高解像度の2D Top-Viewマスク検査も可能です。さらに、マルチプロジェクター3Dオーバーレイにより、手動のConfidashure Toolスコアリングとアルゴリズム検出をインラインで実行できます。資産ハードウェアは、SofTecマシンビジョンプラットフォームによって制御され、優れた速度と柔軟性で簡単なカスタマイズとデータ処理を可能にします。これにより、検査操作を簡単に切り替えることができ、増幅、減算、二重差分、オーバーレイ、複合オーバーレイなどのマルチフォーマットツールを複数のレイヤーで便利にサポートできます。さらに、ソフトウェアパッケージは、2D画像解析、レチクルエッジ検査、ラインエッジ粗度、MEF、フォーカス測定、測定整合性、反復欠陥解析などの特殊なアプリケーションに使用できます。AUGH NSX 115は、マスクスライドの変更、欠陥訂正、クロスサイトレポート評価、オンラインOCR、レポートコーディングなどの機能を備え、24時間365日体制で設計されています。また、Mask Load Strategy、 Intricacy Map、 Defect Management、 Online Analysis、 Pre-Cleaningなどの多数のプロセス制御機能を備え、オペレータの介入を最小限に抑え、歩留まりを最大化するように設計されています。RUDOLPH NSX 115は、強力な5MP CCDカメラとソフトウェア機能を組み合わせることで、高い誤った欠陥率に直面しても最高の保持率を提供し、低サイクル時間で高精度な検査を行うことができます。NSX 115マスク&ウェーハ検査モデルは、連続マスクおよびダブルパターンレチクル操作の高精度、低欠陥レート検査に業界をリードするソリューションです。強力な5MP CCDカメラ、SofTecマシンビジョンプラットフォーム、多数のサポートソフトウェアを組み合わせることで、RUDOLPH/AUGHT NSX 115は信頼性が高く、高スループットで正確な検査を提供できます。