中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9328761 を販売中

RUDOLPH / AUGUST NSX 115
ID: 9328761
Automatic Optical Inspection (AOI) system.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115は、半導体マスクおよびウェーハの徹底的で信頼性の高い分析を提供するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、最先端のオートメーション技術とイメージング技術を使用して、ウェーハまたはマスクの欠陥を正確に特定し、ユーザーが積極的に問題を特定して対処することができます。このユニットは、最高の解像度と検出感度を提供する高度なCCDイメージングアレイの周りに構築されています。このカメラは、クリティカルレイヤーの高解像度画像を取得して処理するように設計されており、ウェーハの材料および微細な特徴の詳細な分析を作成します。また、大規模なサンプルにおける分離セル、重要な形状、細かいパターンを識別して分類することもできます。このマシンには、ウェーハの移動と検査のプロセスを容易にするオートメーションツールも含まれています。ウェーハステージには2つのリニアモータドライブと高周波スピンドルドライブが装備されており、正確な位置決めとサンプリングが可能です。これらのモーションコンポーネントは連携して、ノイズを最小限に抑えながら、ウェーハの滑らかで正確な動きを提供します。その他の機能には、高精度の非接触面スキャン資産、柔軟なデュアルイルミネーション、品質管理およびレビューソフトウェアなどがあります。非接触面スキャンモデルは、ウェーハ上の特徴を損傷することなく測定および分類するように設計されていますが、デュアルイルミネーション装置は微粒子や金属パターンを観察するためのさまざまな機能を提供します。品質管理とレビューソフトウェアは、結果の迅速な分析と検証を可能にします。AUGUST NSX 115は、マスクやウェーハを分析するための優れた機械です。これは、可能性のある欠陥を検出するように設計されており、ユーザーはそれらを迅速かつ正確に識別して対処することができます。高度なイメージング、オートメーション、品質管理機能により、信頼性と精度が最も重要なさまざまな業界やアプリケーションに適しています。
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