中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9289377 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 115は、高度な集積回路の製造における高品質の基準を確保するために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。最大8台のカメラヘッドを内蔵したAUGH NSX 115では、ウエハーとCMPパネルをシリーズベースで同時に検査できます。このシステムは、高スループット検査が可能で、1時間あたり最大500個のウェーハを検査し、最大自由なウェーハ処理能力を提供します。また、独自のAR （Augmented Reality）オーバーレイ機能を使用して、ウェーハ方向の潜在的な欠陥を検出することができ、ウェーハ上の正確な物理的位置内の欠陥のシミュレート画像をレンダリングします。RUDOLPH NSX 115は、独自のEddy電流を使用して、ウェーハ表面のパターン化されたフィーチャーを評価します。これにより、金属腐食や表面に存在する可能性のあるその他の欠陥を迅速に評価することができます。また、拡散コントラストイメージングを使用して、異なるフォトマスクフィルターを使用してウェーハ表面に作成されたパターンを調べます。これにより、フィーチャー層に存在する欠陥をサポート材料または基板層に存在する欠陥と区別することができます。検査ユニットには、電子ビーム検査、スキャン音響顕微鏡、ウィルコクソンなど、さまざまなセンサーが組み込まれています。これにより、ライン欠陥、ポイント欠陥、高さの不規則性など、さまざまな欠陥を検出できます。さらに、NSX 115は、パターン、傾斜または湾曲したパターン、および3Dフィーチャー検出の均一性を確保するための光学検査を提供します。最後に、RUDOLPH/AUGUST NSX 115には、ウェハの幾何学的特徴と特性を正確に測定できる赤外線測定ツールが装備されています。これにより、ウェーハが業界標準に確実に準拠するために必要な正確な欠陥データと測定が可能になります。全体として、8月 NSX 115は、製造における潜在的な欠陥とエラーを特定するための効果的で汎用性の高いツールです。このアセットは、イメージング、センシング、測定技術を組み合わせることで、ウェーハやCMPパネルを迅速に検査し、不規則性や欠陥を検出し、ウェーハの品質保証のための正確な測定を提供することができます。