中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293637221 を販売中
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RUDOLPH/AUGUST NSX 115は、非常に正確で反復可能な結果を提供できるマスク&ウエハ検査装置です。このシステムは、高度な光学設計を利用しており、ウェーハ表面を迅速に画像化および比較することができます。AUGH NSX 115には光学イメージングズームが5倍、視野が広いため、非常に小さなマスクやウェーハをより解像度の高い画像にすることができます。この高倍率により、マスク面とウェーハ面の両方の欠陥を識別することができ、マイクロファブリケーション用途に最適です。RUDOLPH NSX 115で使用される画像処理アルゴリズムは、マスクやウェハ上の表面の動きや欠陥を検出することができます。粒子の大きさや形態をすばやく特定し、マスクやウエハの相対的な高さを極めた精度で測定することができます。例えば、1nmの精度でレイヤーの厚さを測定することができ、画像解像度は0.1µmよりも優れています。また、組み込みユーザーインターフェイスを備えており、さまざまな種類の検査に柔軟に設定できます。その直感的なメニュー構造は機械をセットアップし、作動させることを容易にし、速く、有効な点検結果を提供します。NSX 115は、平面度測定と3Dトポグラフィ測定による高度な欠陥検出を提供します。このツールは、スタンドアロンのソリューションとして、またはより大きな自動プラットフォームの一部として使用することができ、マスクやウェーハに一般的に見られるパッチ、スパイク、穴、その他の欠陥を取り除くことができます。このアセットの高度な信号処理およびパターン認識機能は、マスクやウェーハ表面の欠陥を検出するために使用できる高精度な解析結果をユーザーに提供します。強力なネイティブソフトウェアにより、ユーザーは検査の進捗状況を制御し、結果を報告し、検査プロセスを自動化できます。さらに、RUDOLPH/AUGUST NSX 115は、電気信号、強い光源、およびほこりや湿度などの有害な環境条件から十分に保護されています。これにより、実験室や商業生産環境での厳格な検査作業に適した選択肢となります。全体として、AUGHT NSX 115は、ユーザーに非常に正確な結果と非常に反復可能な結果を提供する最先端のマスク&ウェーハ検査モデルです。強力なネイティブソフトウェアを使用して簡単に設定でき、欠陥のサイズと形態を正確に迅速に検出および分析できます。
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