中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293618548 を販売中

ID: 293618548
ヴィンテージ: 2007
Automatic Optical Inspection (AOI) system 2007 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115は、半導体製造設備で使用するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。この装置は、回路要素の機能に悪影響を及ぼす可能性のあるマスクやウェーハの欠陥を検出するために使用され、製造業者が製品の品質と信頼性を向上させるのに役立ちます。AUGH NSX 115は、明るいフィールドと暗いフィールドの照明と高度な画像処理アルゴリズムを組み合わせて、欠陥、傷、粒子などの構造異常や欠陥に対する最大限の感度を実現しています。最大375倍のマスクとウェーハの高解像度イメージングを提供し、エラーの迅速かつ正確な検出を可能にします。このシステムは、操作を簡素化し、広範なオペレータトレーニングの必要性を排除する、ユーザー直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。RUDOLPH NSX 115には二軸ステアリングが装備されており、検出器のステージ上でのウェーハの高精度なアライメントと動きを可能にします。さらに、さまざまな倍率でウェーハマップを作成することができ、最大36個の別々のマップウィンドウを開くことができます。この機能は、難易度の高い領域や解析困難な領域の画像を作成するだけでなく、欠陥の原因をローカライズするのにも特に役立ちます。NSXはさらに3Dイメージスタッキング機能によって補完されています。最大8層の画像を使用することで、フォーカスレベルや自然な明るさなどのパラメータを変更してエラーを強調表示することができます。この機能は、小規模元素の粒子や微妙な欠陥を検出するのに特に役立ちます。NSX 115には、マスクアライメントおよび解析用のキャリブレーションユニットが内蔵されており、エラー検出、レポート生成、欠陥位置解析、およびその他の操作のための互換性のあるソフトウェアも提供しています。さらに、マニュアルクリーニングの必要性を低減する高度なクリーニングツールを備えているため、機械のメンテナンスが容易です。RUDOLPH/AUGUST NSX 115は、品質管理の向上、障害検出、メンテナンス時間の短縮など、多くの利点をユーザーに提供する高度なマスクおよびウェーハ検査資産です。直感的なユーザーインターフェイス、高精度なイメージング機能、多彩な機能により、あらゆる半導体設備に最適です。
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