中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293615443 を販売中

AUGH NSXシリーズ115は、マイクロエレクトロニクスデバイスの高精度イメージングを可能にするように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、5軸モーションプラットフォームと高度なオプトメカトロニクスおよびイメージングコンポーネントを使用して、マスクとウェーハの両方の画像を非常に鮮明で詳細に正確にキャプチャおよび処理します。その中心には、CCDカメラと埋め込まれたフォトマスクによって空気中の粒子が検出されます。CCDカメラは、サンプルの明るいフィールド画像をキャプチャし、4つの高精度レンズで分析します。キャプチャされた画像は、パターンの不規則性、汚染物質の存在、または欠陥の検出について評価および検査されます。画像の処理は独自のアルゴリズムによって管理されており、単位は画像を参照標準と比較することができます。比較の結果は、デバイスまたは材料内の欠陥を識別するためにマシンによって使用されます。このツールはさらに、ユーザー定義のプログラミング制御と追加のデータ処理機能の統合をサポートします。また、RUDOLPH NSXシリーズ115は、ラッピングと研磨プロセスの画像を構築することを可能にする高度な機能の範囲を提供しています。アルゴリズムは、アセット上のCCDカメラをモーションプラットフォームにリンクさせ、角速度、変換速度、スキャンされたサンプルの総数を計算することができます。このモデルにより、モーションモーションの減速が可能になり、ラッピングと研磨プロセスの微調整が可能になります。RUDOLPH/AUGUST NSXシリーズ115は、さまざまなアプリケーションやサンプルタイプをサポートするために、さまざまな光学系、液浸デバイス、光スールで構成することができます。さらに、機器全体が最大限の信頼性と耐久性のために構築されています。これには、光学部品と自動および半自動プロセスの両方が含まれ、システムは実行することができます。結論として、AUGUST NSXシリーズ115は、要求の厳しいマイクロエレクトロニクス生産環境に優れた性能を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。このマシンは、オプトメカトロニクスとイメージングコンポーネントによって撮影された画像の卓越した鮮明さと詳細を保証するさまざまな機能を備えています。さらに、このツールは、画像を参照標準と比較するための高度なアルゴリズムを実装しており、プロセス中の不規則性または欠陥を検出することができます。