中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 105C #9273802 を販売中
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ID: 9273802
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
Inspection system, 8"
BROOKS (Robot and aligner)
Type C
(2) Load ports
2007 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105Cは、半導体製造環境のための高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。光学およびX線イメージング、クリティカル寸法測定、欠陥検出、歩留まり解析を自動化し、より高いスループットと高精度を実現します。このシステムは、マスク、ウェーハ、および基板上の重要な欠陥特性を迅速に分析するように設計されています。充電式CCD (Coupled Device)イメージングと高度な明るいフィールド照明の両方を利用した強力な光学イメージングユニットを使用しています。これにより、マシンは1 μ mまでの非常に小さな欠陥サイズを検出することができます。さらに、このツールには、マスクとウェーハの両方の表面欠陥と埋め込み欠陥の両方を調べるための光学およびX線画像技術が組み込まれています。ウェーハ検査ハードウェアには、サブミクロン分解能の自動臨界寸法(CD)測定、画像ベースの欠陥検出、歩留まり解析が含まれます。このハードウェアの組み合わせにより、さまざまなチップサイズと複雑さレベルのリアルタイムで正確な欠陥検査と分析が可能になります。このアセットには、再現可能で正確な測定のための清潔さを確保するための真空レベルのローディングチャンバーが含まれています。ソフトウェアインターフェイスとカスタマイズ可能なデータ分析により、AUGH NSX-105Cはさまざまな生産および研究目的に最適なモデルとなります。このソフトウェアは、計測、欠陥検査、特性評価結果の可視性をリアルタイムでユーザーに提供します。さらに、ユーザーは、特定の生産ニーズに合わせて機器データをカスタマイズすることができます。さらに、このシステムは、タッチスクリーンインターフェイスからのシンプルで高速なナビゲーションと制御を提供します。全体として、RUDOLPH NSX 105 Cマスクとウェハ検査ユニットは、最新の光学およびX線技術を組み合わせて、さまざまな半導体製造アプリケーションに強力で包括的な分析を提供します。高解像度の光学イメージング機能、自動クリティカル寸法測定、欠陥検出および歩留まり解析は、半導体デバイスメーカーにとって高度でありながらユーザーフレンドリーなソリューションです。
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