中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9298761 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 105マスク&ウェーハ検査装置は、不規則性および欠陥のウェーハ表面を検査するために使用される画像検査システムです。この検査ユニットは、汚染、薄化、ピンホール、転位、欠陥、およびその他の表面異常を検出するために使用できます。白色光源、光学カメラ、画像パターン認識アルゴリズムを使用して、画像をキャプチャし、検査を行います。AUGH NSX-105は、白色LED光源とカップ型の暗視野ミラーで構成された暗視野イルミネーションツールで構成されています。このアセットには、光学カメラと干渉フォーカススキャン（IFS）を使用して高さと表面の不規則性を測定するレーザーも装備されています。モデルにはパターン認識アルゴリズムもあり、ウェーハ表面の不規則性を検出するために使用されます。検査画像は光学カメラで2つの角度で撮影され、機器のハードドライブに保存されます。また、使用するマスクの種類、使用する光の種類、パターン認識アルゴリズムのパラメータなど、画像が撮影された条件も記録されます。記録された画像は、ユニットのパターン認識アルゴリズムによって解析されます。このアルゴリズムは、テンプレートベースの技術を使用して、ウェーハ表面の不規則性または欠陥を検出します。このアルゴリズムはまた、3次元技術を使用して任意の不規則性の高さを測定します。RUDOLPH NSX 105は、1回の実行で最大1000個のウェーハを自動的に分析することができます。機械はユーザーの特定の必要性にカスタマイズすることができ、汚染、転位、ピンホール、薄くなることおよび他の表面の異常のようなさまざまな欠陥に、使用することができます。NSX 105マスク&ウェーハ検査ツールは、表面の凹凸や不完全さを検出、認識、測定するための高度なツールです。このアセットは操作が簡単で、ウェーハ表面の検査や品質保証に最適です。